气体管路-国家试验研究院.DOC

財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 新購設備機台之通用版－廠務系統二次配管工程規範 修訂第四版98/09/01 目錄 頁次 一、 工程標的 1 二、 廠務各系統規格 1 1. 廢氣系統 1 2. 一般氣體 1 3. 製程冷卻水 2 4. 電力系統 2 5. 純水系統 3 6. 廢水系統 3 7. 特殊氣體 3 8. 空調系統 4 9. 化學品中央供應系統 5 10. 氣瓶櫃 5 三、 適用之標準與法規 5 四、 廠務各系統之工程規範 5 1. 廢氣處理設備及管路配接 5 2. 一般及特殊氣體之管路配接 7 3. 製程冷卻水管路配接 15 4. 電力管線配接 17 5. 純水管路配接 19 6. 廢水管路配接 19 7. 毒氣偵測器增設與系統配接 20 8. 氣瓶櫃安裝 22 五、 驗收標準 25 六、 保固 30 工程標的 本規範適用於國家奈米元件實驗室奈米大樓新進機台，廠務相關供應系統之水、電、氣等配接工程規範及相關可提供系統規格概述，請承包商先至現場進行勘查並與各系統負責人員洽詢確認，並於每日施作後進行現場清潔，日後如有任何疑慮依業主解釋為準。 廠務各系統規格 就奈米電子大樓廠務各系統之規格說明如下，請承包商就以下廠務可提供新進機台需求之規格，進行詳細評估並與各系統負責人進行討論。 廢氣系統 區域 廢氣種類 提供之管路負壓和配管材質及後續處理方式 C/R 100級C/R 1000級 一般排氣 負壓約100 mm水柱 ?(鍍鋅風管；無處理排放) 酸排氣 風車端負壓約180 mm水柱 ?(霧面白鐵風管內鍍鐵氟龍；水洗處理) 有機排氣 負壓約150 mm水柱 ?(內外亮面白鐵風管；活性碳吸附處理) C/R 10000級 一般排氣 負壓約80 mm水柱 ?(鍍鋅風管；無處理排放) 酸排氣 負壓約180 mm水柱?(霧面白鐵風管內鍍鐵氟龍；水洗處理) PS：酸排氣風機除小排氣量高濃度製程排氣外，可能無法負荷大風量需求的設備。 有機排氣 負壓約150 mm水柱 ?(亮面白鐵風管；活性碳吸附處理) 一般氣體 區域 氣體種類 供應壓力 氣體純度 C/R 100 PN2 6?8㎏/cm2 PN2：O21ppb、H21ppb、CO21ppb、 CO1ppb、THC1ppb、 NO1ppb、Others(Except Rare Gases)1ppb、 Particles1pcs/ml@≧0.1μm GN2：O20.5 PPM、CO0.5PPM、 CO20.5PPM、H2O0.5PPM、 THC0.5PPM、H20.5PPM、 Particles10pcs/ft3@≧0.1μm PO2：N21ppb、H21ppb、CO21ppb、 CO1ppb、THC1ppb、Others (Except Rare Gases)1ppb、 Particles1pcs/ml @ ≧0.1μm PH2：O21ppb、N21ppb、CO21ppb、 CO1ppb、THC1ppb、Others (Except Rare Gases)1ppb、 Particles1pcs/ml@ ≧0.1μm Ar ：99.9999% He ：99.9999% CDA：H2O含量-70℃露點 以上PN2 、PH2、PO2純度為純化器出口之規格。 GN2 6?8㎏/cm2 PO2 6?8㎏/cm2 PH2 6?8㎏/cm2 Ar 5?6㎏/cm2 He 5?6㎏/cm2 CDA 7?9㎏/cm2 PV －21?－22inHg C/R 10000 PN2 6?8㎏/cm2 GN2 6?8㎏/cm2 PO2 6?8㎏/cm2 PH2 6?8㎏/cm2 Ar 5?6㎏/cm2 He 5?6㎏/cm2 CDA 7?9㎏/cm2 PV －21?－22inHg 研究棟實驗室 GN2 6?8㎏/cm2 CDA 7?9㎏/cm2 PV －21?－22inHg 實驗棟實驗室 PN2 6?8㎏/cm2 GN2 6?8㎏/cm2 PO2 6?8㎏/cm2 PH2 6?8㎏/cm2 Ar 5?6㎏/cm2 He 5?6㎏/cm2 CDA 7?9㎏/cm2 PV －21?－22inHg 5F 實驗室 GN2 6?8㎏/cm2 CDA 7?9㎏/cm2 製程冷卻水 區域 供應壓力 水質規格 C/R 100級 6.2±1.0 Bar 供水水質：≦50μS (≧20KΩ) 供水溫度：18.0±1.0℃。 C/R 10000級 5.6±1.0 Bar 5F(預備C/R) 5.5±1.0 Bar 研究棟實