無塵室室內正壓之維持.docVIP

※無塵室定義 無塵室是一個為了對空間內空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性建築。一般而言，無塵室也會對溫溼度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制。 無塵室依等級的不同，對一定空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範，在國際標準中最常用的規範有Fed-Std-209E及ISO-14644，以下表格為Fed-Std-209E及ISO-14644的等級定義。 ※Fed-Std-209E潔淨度定義 ※ISO-14644潔淨度定義 ISO的等級劃分，首先定義了微粒的粒徑是從 0.1mm到 5mm，在此範圍之外就不列入等級表，但是另定義有超微粒子與超大粒子針對範圍外粒子。ISO 等級本身歸類為 ISO Class 1 到 ISO Class 9，其允許上限的定義是大於等於該粒徑的微粒數，數目字如下表，單位是每立方公尺的微粒數。 比較以上兩表我們可看出： 209E的公制和英制兩套標準，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關性。兩制放同一表，徒然造成混淆。 在兩表中0.5μm幾乎出現在每一個等級定義中，表示粒徑0.5μm的粒子非常具有代表性。 在潔淨度的分類上，不管是在高潔淨度，或是低潔淨度，ISO-14644的範圍比209E都來的廣，因此具有未來性。  ※無塵室分類 　無塵室依等級的不同而在氣流設計上會有所區別，一般可分為垂直層流方式(Class 1~100)、水平層流方式(Class 1~1,000)、亂流方式(Class 1,000~100,000)，其詳細區分如下表： ?  ※垂直層流無塵室 垂直層流無塵室亦稱為單一流向型無塵室，由於微粒的移除完全掌握在氣流的模式，因此愈潔淨的無塵室或是無塵區域，對氣流模式的掌控就愈重要。 全面垂直層流無塵室採用模組化鋁擠層流天板，搭配鋁合金高架活動地板，使整個無塵室氣流可由上往下直接循環，搭配高效率過濾風車組，其過濾微粒效果可達99.999％，使整個無塵室的等級可達到Class 1~100。 本公司為〝Min Aik Technology(M) Sdn Bhd〞所興建之Class 100無塵室，經NEBB及IEST國際認證機構嚴格測試後，各項條件均通過認證合格。本公司所堅持的技術性、專業性、國際化、制度化，在在獲得國際組織的肯定。 ※工程實績 ▲ Class 100 無塵室 ▲ Class 100 無塵室 ▲ Class 100 無塵室 ▲ Class 100 無塵水洗室 ▲ 鋁合金高架地板施工 ▲ 鋁合金高架地板完工 ▲ FFU配置 ▲ 層流天板施工 ▲ 層流天板施工 ▲ 貨物傳遞箱 ▲ 淚滴型無塵燈具 ▲ Class 1000 更衣室 ▲ 空氣浴塵機 ▲配水管路 ▲ 無塵室外觀隔間 ? ? ?  ※亂流型無塵室 此類型無塵室大多設計在潔淨度等級要求不高（Class 1000~Class 100,000）的無塵室，因氣流循環是以回風柱方式循環，故會在室內產生亂流，其製程及人員所產生的粒子就會在室內打轉，必須要以潔淨度高的空氣來予以稀釋，並將室內潔淨度控制在某一等級以下，其重點在於掌控微粒的產生速率，進而推算換氣次數，達到控制室內微粒子數量的目的。 ※工程實績 ▲Class 10000 無塵室 ▲ Class 10000 無塵室 ▲ Class 10000 無塵室 ▲ 生產線設備 ▲ 高效率過濾網箱及無塵燈具 ▲ 生產線 ▲ 更衣室 ▲ 人員進出口 ▲ 回風柱 ▲ 無塵室隔間 ?  ※無塵室自動化 ◎－表示無塵室竣工後應量測之項目△－表示量測線性監控 ?  ※無塵室節能技術 自動化 管理1.關掉不需使用之照明設備2.省水3.關門 天然能源1.雨水收集利用2.新鮮空氣冷卻 ? 排氣能源再利用 系統1.達到最小化之高品質清潔區域2.能源利用3.電力耗用曲線扁平化4.最佳之空氣流動配置5.設備數之控管6.建築結構熱隔絕7.二氧化碳之控制? ?  ※製程設備相關工程 無塵室設備的運轉需要多種系統設施來支援，這些系統設施於最初之設計階段即應考量其未來之擴展性及許可之容量。本公司整體之系統設施，包括從初期的基礎設備與運轉設備的管線連結。 ? 無塵室室內正壓之維持 無塵室管理四原則