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附件1：NJTECH2016-SBZB034项目需求 包一 有机光电器件手套箱系统（1套） 一、功能要求： 该系统由手套箱、真空镀膜机和旋涂仪组成。手套箱包括OPV手套箱，OLED手套箱和制备用旋涂仪手套箱，手套箱之间使用T型过渡舱及T型小过渡舱连接， OPV真空镀膜机(6源) 和OLED真空镀膜机(12源)分别与不同手套箱工位进行连接，气氛必需互不影响。手套箱需预留一个单工位用于对接IV测试相关设备及装样品、更换掩膜版等；需要一个独立的单工位手套箱内部安装匀胶机（嵌入式），该工位要与真空镀膜及测试手套箱用T型过渡舱连接，方便不同手套箱之间的物品传递。该系统可用于有机光电实验及测试分析。 二、技术指标要求： （一）手套箱主要技术性能指标： ★1、手套箱由两个工位箱体组成，泄露率﹤0.001vol%/h，H2O﹤1ppm，O2﹤1ppm。 2、箱体一： 2.1、该箱体由两个箱体通过法兰连接组成，左侧箱体尺寸为1800mm（长）X300mm（宽）X900mm（高），其背部开口与真空镀膜机连接，右侧箱体尺寸为1800mm（长）X750mm（宽）X900mm（高），左右焊接连接，箱体材质均为SUS304不锈钢，厚度3mm。 2.2、可拆卸的安全玻璃视窗，倾斜设计的操作面，钢化玻璃厚度8mm，视窗与箱体之间的密封无泄漏。 2.3、八个铝合金手套口，由实心棒材加工而成。 2.4、八只丁基橡胶手套（原装进口）。 2.5、箱体背面预留4个KF40标准接口。 2.6、箱体内部配置有双层不锈钢搁物架。 2.7、安全阀，保护设备和手套箱内材料。 2.8、钢结构支架，高900mm，安装有万向脚轮。 3、箱体二： 3.1、箱体尺寸为1800mm（长，可调整）X750mm（宽）X900mm（高），材质为SUS304不锈钢，厚度3mm。 3.2、可拆卸的安全玻璃视窗，倾斜设计的操作面，钢化玻璃厚度8mm，视窗与箱体之间的密封使用威格的专利技术，达到无泄漏。 3.3、四个铝合金手套口，由实心棒材加工而成。四只丁基橡胶手套（原装进口）。 3.4、箱体背面预留4个KF40标准接口。 3.5、箱体内部配置有双层不锈钢搁物架。 3.6、安全阀，保护设备和手套箱内材料。 3.7、钢结构支架，高900mm，安装有万向脚轮。 4、过渡舱： 4.1、T型大过渡仓，位于两手套箱之间，尺寸：Φ370X800mm，通过在触摸屏上点触启动按键，过渡舱可自动完成多次抽充程序。 4.2、T型小过渡仓，位于两手套箱之间，尺寸：Φ150X800mm。 4.3、高效气体纯化化系统：可吸附氧气和水的吸附量分别为60升和2公斤，吸附饱和后可再生。 4.4、手套箱配备可再生有机气体吸附柱，吸附饱和后可再生循环使用。 5、控制系统: 5.1、控制系统由彩色触摸屏组成，用户友好的中英文操作界面。 5.2、可自动监测手套箱泄漏率：设定自动监测，PLC将根据用户的设定，每天自动在设定的时间对箱体的泄漏进行检测和报告泄漏率，如超过设定值，系统会弹出窗口，警告用户泄漏率超标。这样能及时发现破损的手套和密封条等情况。 （二）OPV镀膜机： 1、真空腔室：极限真空度≤1×10-5 Pa，漏率为关机12小时≤5 Pa。 2、蒸发源：金属蒸发源4套，有机蒸发源2套，温度为室温至500度，精度±1℃。 3、样品台：具有旋转功能，转速0～30转／分连续可调；具有加热功能，室温—300℃；具有升降功能，样片与蒸发源之间的间距为200-300mm可调。 4、真空系统：抽速600L/S分子泵；抽速9L/S直联旋片机械泵。 ★5、膜厚测量：1台石英晶振膜厚监测仪，厚度分辨率1pm，速率分辨率1pm/s；2个石英晶振探头。 6、电控系统：采用标准1.8电器控制柜，操作均由PLC及液晶触摸屏控制。 ★7、不破真空在线更换掩膜，掩模板与样品无间隙贴合。 (三) OLED镀膜机： 1、真空腔室：极限真空度≤1×10-5 Pa，漏率为关机12小时≤5 Pa。 2、蒸发源：金属蒸发源4套，有机蒸发源8套，电源采用进口温度控制，温度为室温-500度，精度±1℃。 3、样品台：具有旋转功能，转速0～30转／分连续可调；具有加热功能，室温—300℃；具有升降功能，样片与蒸发源之间的间距可调。 4、真空系统：分子泵抽速700L/S进口；机械泵抽速12L/S。 5、膜厚测量：1台四通道石英晶振膜厚监测仪，可实现三源共蒸发，厚度分辨率1pm，速率分辨率1pm/s；4只石英晶振探头，其中三只为水冷探头。 6、电控系统：采用标准电器控制柜，操作均由PLC及液晶触摸屏控制。 （四）、嵌入式旋涂仪： 1、原装进口。 2、旋涂程序：最大10个，最多10步每个；最大速度：10千转/分钟，±1rpm。 3、内腔尺寸：?176mm，内腔材质：POM。 4、基片尺