ccd传感器及其应用研究 ccd sensor and its applications.pdfVIP

⑥⑥回 注：江苏省高校自然科学研究计划项目(项目编号：Kk0410182) 摘要：伴随半导体与光电技术的迅速发展，固态图像传感器也应运而生，生产工艺技术也发展迅猛。固 态图像传感器与普通图像传感器相比，具有体积小、失真小、灵敏度高、抗振动、耐潮湿、成本低等许 多优点，因此可以被广泛应用于工业测量、控制，尤其是在图像识别等领域，并将广泛渗透于我国的工 农业生产的各个部门，为我国的精细加工、机器人技术以及工业自动化领域的发展起重大作用。同时， 计算机软硬件技术的日新月异，也会给固态图像传感器的应用带来广阔前景。 关键词：图像传感器；固态图像传感器；工业测量；控制；图像识别 4 2．1 中图分类号：TP21 TP391．41文献标识码：A文章编号：1006—883×(2∞7)07一∞22一05 鼢◆ 陈东雷王清元张天顺 一、引言 图像传感器是利用光电器件的光一电转换功能，将其感光面上的光像转换为与光像成相应比例关系的电信 号“图像”的一种功能器件。 固态图像传感器是指在同一半导体衬底上布设的若干光敏单元与移位寄存器构成的集成化、功能化的光电 器件。光敏单元简称为“像素”或“像点”，它们本身在空间上、电气上是彼此独立的。固态图像传感器利用 光敏单元的光电转换功能将投射到光敏单元上的光学图像转换成电信号“图像”，即将光强的空间分布转换为 与光强成比例的、大小不等的电荷包空间分布。然后利用移位寄存器的功能将这些电荷包在时钟脉冲控制下实 现读取与输出，形成一系列幅值不等的时序脉冲序列。 固态图像传感器与普通的图像传感器比，具有体积小、失真小、灵敏度高、抗振动、耐潮湿、成本低的特 点。这些特色决定了它可以广泛用于自动控制和自动测量【1】【21，尤其是适用于图像识别技术‘31中。本文从分析 固态图像传感器的原理出发，着重对它在测控及图像识别领域进行分析和探讨。 二、电荷耦合器件及工作原理 Devices，简称ccD)， 电荷耦合器件(chargecouple 是固态图像传感器的敏感器件，与普通的MOs、 1][L等电路一样，属于一种集成电路，但CCD具有光电转换、信号储存、转移(传输)、输出、处理以及电子 快门等多种独特功能。 电荷耦合器件CCD的基本原理是在一系列MOS电容器金属电极上，加以适当的脉冲电压，排斥掉半导 体衬底内的多数载流子，形成“势阱”的运动，进而达到信号电荷(少数载流子)的转移。如果所转移的信号 电荷是由光像照射产生的，则ccD具备图像传感器的功能；若所转移的电荷通过外界注入方式得到的，则ccD 还可以具备延时、信号处理、数据存储以及逻辑运算等功能。 电荷耦合器件ccD的基本原理与金属一氧化物一硅(MOs)电容器的物理机理密切相关。因此，首先分 析MOS电容器原理。 万方数据 ◆然黜‰黑 图l是热氧化P型si(p—si)衬底上淀积金属而构成的素而获得。这样的输出电信号与其相应的像素的位置对应， 一只MOs电容器，若在某一时刻给它的金属电极加上正向 无疑是更准确些，且再生图像失真度极小。显然，光导摄像 管等图像传感器，由于扫描电子束偏转畸变或聚焦变化等原 电压yG，p—si中的多数载流子(此时是空穴)便会受到排 斥，于是，在si表面处就会形成一个耗尽区。这个耗尽区与 因所引起的再生图像的失真，往往是很难避免的。 普通的pn结一样，同样也是电离受主构成的空间电荷区。并 失真度极小的固态图像传感器，非常适合测试技术及图 且，在一定条件下，％越大，耗尽层就越深。这时，si表 像识别技术。此外，固态图像传感器与摄像管比，还有体积 面吸收少数载流子(此时是电子)的势(即表面势K)也就小、重量轻、坚固耐用、抗冲击、耐震动、抗电磁干扰能力 越大。显而易见，这时的MOs电容器所能容纳的少数载流 强以及耗电少等许多优点，