mwcnt-wo3薄膜双声路saw no2气体传感器 dual track surface acoustic wave no2 gas sensor with mwcnt-wo3 films.pdfVIP

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2017-11-02 发布于上海
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mwcnt-wo3薄膜双声路saw no2气体传感器 dual track surface acoustic wave no2 gas sensor with mwcnt-wo3 films.pdf

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mwcnt-wo3薄膜双声路saw no2气体传感器 dual track surface acoustic wave no2 gas sensor with mwcnt-wo3 films

第21卷第10期传感技术学报 V01．21No．10 OFSENSORSANDACTUATORS 2008年10月 CHINESEJOURNAL 0ct．2008 GasSensorwith Films。 DualTrackSurfaceAcousticWaveN02 MWCNT-WOa 2 WEN ElectronicsandControl ，1．Schoolof Engineering，Chang’anUniversity，Xi’nn710064，China；、 and ＼2．SchoolElectronics Engineering，Xi’anJiaotong 710049，China， of Information University，Xi’an novelschemeofdualtracksurfaceacoustic Abstract：A wave(SAW)N02sensorwith gas filmsis OHandMWCNTasraw proposed．UtilizingTungstenpowders，H202，CH3 trackof track filmiSfabricatedinmeasureacoustic dual surfaceacousticwavedevice．MWCNTand W03 sensitiveto thecontactareais dueto and of W03areall N02 the action gas，and spread capillary doped of and ofsensorare dualtrack MWCNT，thus，theabsorptionNOzgas sensitivity improved．Thereceiving structureis intothesensor，thustheenvironmentdisturbanceformeasurement incorporated quantities sig— confirmthat nalareeliminated，andthe and arefurther results reliabilityveracity improved．Experiments thedualtrackSAW sensorwith filmsisendowedwith N02 MWCNT-WOa excellent gas responseperform—