中阶梯光栅衍射效率及杂散光检测系统设计.PDFVIP

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第卷第期光谱学与光谱分析年月中阶梯光栅衍射效率及杂散光检测系统设计沈春洋崔继承孙慈王玮陈建军李晓天中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春中国科学院大学北京摘要中阶梯光栅具有刻线密度低闪耀角度大衍射级次高光谱范围宽色散率大光谱分辨率高等一系列突出优点近年来由于其优良的性能而倍受青睐作为评价中阶梯光栅质量的衍射效率和杂散光系数直接体现了中阶梯光栅的光学性能能够准确地进行中阶梯光栅衍射效率和杂散光系数的测量是光栅应用的前提鉴于此基于中阶梯光栅的衍射理论创造性地提出用一套系统对中阶梯光栅的衍射效

第 卷 第 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 年 月

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