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扫描电子显微镜扫描电镜是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像扫描电镜的优点是有较高的放大倍数万倍之间连续可调有很大的景深视野大成像富有立体感可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构试样制备简单目前的扫描电镜都配有射线能谱仪装置这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析因此它是当今十分有用的科学研究仪器电子束与固体样品的相互作用扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描激发出各种物理信息通过对这些信息的接受放大和显
扫描电子显微镜(Scanning Electronic Microscopy, SEM)
扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是,①有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调;②有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;③试样制备简单。 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析,因此它是当今十分有用的科学研究仪器。
电子束与固体样品的相互作用
扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出
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