采用CCD的非接触测量中提高精度的一种方法推广.PDFVIP

第 10卷 　第3期 光学 　精密工程 Vol . 10 　No . 3 　　　　　　　　 　　　　　　　　　 2 0 0 2 年 6 月 Optics and Precision Engineering J un . 　2 0 0 2 ( ) 文章编号 　1004924X 2002 采用 CCD 的非接触测量中提高精度的一种方法 李佳列 ,丁国清 ,颜国正 ,朱洪海 (上海交通大学 信息检测技术及仪器系 ,上海 200030) 摘要 :利用 CCD 传感器对工件进行测量是非接触测量领域的常用方法 ,但受到 CCD 像元特征尺寸的限 制 ,测量精度往往只能达到微米级 ,限制了该系统在非接触测量方面的更广泛应用 。本文从算法角度提 出了一种提高 CCD 精度的方法 。实验证明 ,方法能将测量的精度提高一个数量级 。 关 　键 　词 : 电荷耦合器件 ;尺寸测量 ;边缘检测 ;梯度 中图分类号 : TB92 　　文献标识码 :A 列 CCD 传感器上将形成一个该零件的投影 图。 1 　引　言 由CCD 输出的图像输入电脑主机 ,用算法对图像 进行处理 ,得出需要的尺寸 。针对不同的工件 ,测 　　近年来 ,作为一种有效的、快速的非接触测量 量主要分为两种方法 : ( ) ) 手段 , 电荷耦合器件 CCD Charge Couple Device 1 直接测量法 :用于对小尺寸测量 ,如小的螺 在非接触测量系统中的应用相当普遍 。CCD 器 母 、螺钉 ,或是工件上尺寸较小的键 、槽等 。一般 件具有精度高 、动态范围大 、稳定性好 、工作电压 将 CCD 的输出图像直接进行处理便可得到所要 低等 ,此外它的输出信号易于处理 ,便于计算机接 的数据 。 口处理[ 1 ] 。它可以直接用于物体外部尺寸 ,轮廓 2) 间接分割法 :对于一些较大的对象 ,其尺寸 以及位移和有关物理量的测量 。 超过了 CCD 传感器所能测量的最大范围 ,此时通 运用 CCD 进 行测量 时 , 测量精度取决于 过位置关系将测量分为几步进行 :先在对象一端 CCD 像元的大小 。为此人们进行了各方面的尝 进行一次测量 ,然后将对象沿导轨移动 ,使另一端 试来提高测量系统的精度 :如改进制造工艺 ,减小 位于 CCD 传感器的测量范围内,再进行一次测量 [2 ] ( ) CCD 传感器的像元宽度 采用光学系统放大被 如图 1 虚线所示 ,这时对象的尺寸即为两次的 测物体 ,借此提高整个系统的精度[3 - 4 ] 等等 。 测量结果及移动距离之和 。导轨上带有光栅 ,移 本文借鉴了图像处理中边缘提取算法的思 动距离的测量精度可达 1μ m ,但最好的 CCD 传感 μ 想 ,提出一种采用最小二乘法的边缘线性拟合检