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IIV半导体材料
III-V族化合物半导体
魏 一
2015.5
半导体材料 1 大连理工大学 ,2015 May
元素周期表中IIIA族和VA族的元素形成的化合物
IIIA族元素 :B、Al 、Ga 、In
VA族元素 :N、P、As 、Sb
IIIA VA
组成化合物15种(除BSb外),如 :GaN 、GaP 、GaAs 、InP、GaSb 、InSb、InAs等
半导体材料 2 大连理工大学 ,2015 May
III-V 族化合物半导体的概况
Ga 的化合物:
半导体材料 3 大连理工大学 ,2015 May
III-V 族化合物半导体的概况
B、Al 的化合物:
半导体材料 4 大连理工大学 ,2015 May
III-V 族化合物半导体的概况
In的化合物:
半导体材料 5 大连理工大学 ,2015 May
一、III-V 族化合物半导
体的特性
半导体材料 6 大连理工大学 ,2015 May
III-V 族二元化合物半导体的特性
• 带隙较大
GaAs为1.43eV硅为1.1eV,工作温度可以比硅高
• 直接跃迁
光电特性好,可作发光与激光器件
• 电子迁移率高
GaAs是硅的 5-6倍,可作高频、高速器件
• 带隙随温度变化
此外,具体材料如GaAs本征载流子浓度低、耐热、抗辐射
性能好、对磁场敏感、易拉制出单晶等优点
半导体材料 7 大连理工大学 ,2015 May
III-V 族二元化合物半导体的特性
部分III-V 族二元化合物半导体的物理性质 :
ZB:闪锌矿型;D:金刚石型(300K)
半导体材料 8 大连理工大学 ,2015 May
砷化镓GaAs
砷化镓(GaAs)材料是目前生产量最大、应用最广泛,因
而也是最重要的化合物半导体材料,是仅次于硅的最重要
的半导体材料。
砷化镓在我们日常生活中的一些应用:
• 电视、音响、开空调等用的遥控器红外灯。
• 许多家电上都有小的红色、绿色的指示灯,它们是以砷
化镓等材料为衬底做成的发光二极管。
• 光盘和VCD, DVD都是用以砷化镓为衬底制成的激光二极
管进行读出的。
9
半导体材料 大连理工大学 ,2015 May
GaAs 的应用
曲折经历:
• GaAs早在1926年被合成出来了,1952年确认了其半导体性质。
• 首先用它来作晶体管和二极管,结果其性能还赶不上硅和锗
• 到了 60 年代初,出现了耿氏微波二极管,人们曾寄希望于将
此器件取代真空速调管,使雷达实现固体化。后终因输出功率
太小而未能实现。
• 在改善计算机性能中,
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