IIV半导体材料.pdf

III-V族化合物半导体 魏 一 2015.5 半导体材料 1 大连理工大学 ，2015 May 元素周期表中IIIA族和VA族的元素形成的化合物 IIIA族元素 ：B、Al 、Ga 、In VA族元素 ：N、P、As 、Sb IIIA VA 组成化合物15种（除BSb外），如 ：GaN 、GaP 、GaAs 、InP、GaSb 、InSb、InAs等 半导体材料 2 大连理工大学 ，2015 May III-V 族化合物半导体的概况 Ga 的化合物： 半导体材料 3 大连理工大学 ，2015 May III-V 族化合物半导体的概况 B、Al 的化合物： 半导体材料 4 大连理工大学 ，2015 May III-V 族化合物半导体的概况 In的化合物： 半导体材料 5 大连理工大学 ，2015 May 一、III-V 族化合物半导 体的特性 半导体材料 6 大连理工大学 ，2015 May III-V 族二元化合物半导体的特性 •  带隙较大 GaAs为1.43eV硅为1.1eV，工作温度可以比硅高 •  直接跃迁 光电特性好，可作发光与激光器件 •  电子迁移率高 GaAs是硅的 5-6倍，可作高频、高速器件 •  带隙随温度变化 此外，具体材料如GaAs本征载流子浓度低、耐热、抗辐射 性能好、对磁场敏感、易拉制出单晶等优点 半导体材料 7 大连理工大学 ，2015 May III-V 族二元化合物半导体的特性 部分III-V 族二元化合物半导体的物理性质 ：  ZB：闪锌矿型；D：金刚石型（300K）  半导体材料 8 大连理工大学 ，2015 May 砷化镓GaAs 砷化镓（GaAs）材料是目前生产量最大、应用最广泛，因 而也是最重要的化合物半导体材料，是仅次于硅的最重要 的半导体材料。 砷化镓在我们日常生活中的一些应用： •  电视、音响、开空调等用的遥控器红外灯。 •  许多家电上都有小的红色、绿色的指示灯，它们是以砷 化镓等材料为衬底做成的发光二极管。 •  光盘和VCD， DVD都是用以砷化镓为衬底制成的激光二极 管进行读出的。 9 半导体材料 大连理工大学 ，2015 May GaAs 的应用 曲折经历： •  GaAs早在1926年被合成出来了，1952年确认了其半导体性质。 •  首先用它来作晶体管和二极管，结果其性能还赶不上硅和锗 •  到了 60 年代初，出现了耿氏微波二极管，人们曾寄希望于将 此器件取代真空速调管，使雷达实现固体化。后终因输出功率 太小而未能实现。 •  在改善计算机性能中，