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2017-11-19 发布于浙江
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3d过渡族金属杂质在硅中的行为

第十五卷第四期总第60期 Vo 1. 15 No . 4 Materials Science Engineering Dec. 1997 3 d , , 310027 3d , , 3d , , Behavior of 3d Transition Metals in Sillicon Crystal Zhang Xiwen, Yang Deren, ue Duanlin State Key Laboratory of Silicon Materials Science,Zhejiang University,Hangzhou, 310027 AbstractT he 3d transition etals behavior of diffusion,dissociation,precipitation and interstitial evo- lution in silicon crystal was surveyed The abroad research work in this field was also introduced which will. , be benifit for the further investigation. Key words3d transition etals,internal gettering,oxygen precipitation 一、引　　言 , , , , , , , 3 ( 3 : 3 , d dTMs d transition [1] etals) , 3dTM s , , , , , , , , 3dT Ms 3dT Ms , , , 3dT Ms 3dT Ms , , , , 二、3dTMs 的扩散行为 , , , [3] ,, , , ,3dTM s , , ,, , , [2] ,