光电印制电路板的发展评述_3_聚合物光波导层的成型工艺_1_.pdfVIP

综述与评论 光电印制电路板的发展评述 （3） ——聚合物光波导层的成型工艺 （1） 张家亮 （南美覆铜板厂有限公司，广东 佛山 528231） 摘 要 文章简述了光电印制电路板中聚合物光波导层的制作应该遵循的原则，介绍了光波导层的主要成型工艺， 包括反应离子蚀刻、平版影印、激光烧蚀和加热模压等方法。 关键词 光电印制电路板；反应离子蚀刻；平版影印；激光烧蚀；加热模压；成型工艺 中图分类号：TN41文献标识码：A 文章编号：1009-0096（2007）02-0017-04 Review of Progress in Optical-electronic Circuit Boards (3) Patterning Techniques of Polymer Optical Waveguide Layers (Part1) Zhang Jialiang Abstract In the paper, the rule of polymer optical waveguide layers used in OE-PCB was reviewed briefly. At the same, patterning techniques of polymer optical waveguide layers were introduced. The main method includes reactive ion etching(RIE), photolithography, laser ablation, hot embossing. Key words OE-PCB; reactive ion etching(RIE); photolithography; laser ablation; hot embossing; pattern- ing techniques 0 引言 有机聚合物的合成、加工、器件制备方面相对容 首先，让我们来了解一下光电印制电路板的结 易、价格低廉，而且它们具有非线性光学系数较 构 （见图1），它包括传统的PCB层、铜导电层、 大、介电常数相对较低、容易与半导体器件和光纤 半固化片和光波导层。其中光波导层使用的是有机 集成等优良性能，可以用于制备有更高的调制频率 17 聚合物，经过前面的分析可以知道，有机聚合物是 和较低的驱动功率的光调制器、光开关阵列和可调 一种非常有应用前景的光电印制电路板材料，由于 谐器件、激光器、阵列波导光栅、滤波器、调制 *本课题受江苏省科技厅科技发展计划资助，项目编号为BG2005011。 Printed Circuit Information 印制电路信息2007 No.2 ……… …………Summarization Comment … …………………………………………… 一般而言，光波导层的制作方法应该遵循以下原 则：第一，光波导层的厚度和折射率的误差都要小， 而且均匀；第二，传输损耗小，通常应在1dB/cm以 综