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平板式可变电容器宏建模及其在MEMS设计中的应用实例
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第6期 何 洋等：平板式可变 电容器宏建模及其在 MEMS设计 中的应用实例 755
1．2 坐标系及其转换关系
选择与平板式电容器固定极板 固连的直角坐标系为总 ac
体坐标系xyz，与活动极板固连的直角坐标系为局部坐标系 … ：，oC，差】 (9)
xy：。 p．．。．．．．．．。．．．．。．．．．L
0
。
。
一 一
= 『 s
L0ept：：][ysT0
图 1 平板式电容 图2 平板式电容器极板 0
=l s一。yy]』××
一一 L 0 J
0 stp ctpJ 0 1
，
器初始位置 相对运动后位置 ～
如图 1，平板 电容器处于初始位置时，局部坐标系与总 ]
体坐标系重合，固定极板位于总体坐标系中z=一h的位
㈩
置，保持不动。极板长 z，宽 z，。如 图2，活动极板相对固定
极板空间运动，分别绕 、Y、z轴转动角度 a，卢，y，其几何中
心运动至总体坐标系中 ( ， ，)处。有局部与总体坐标
系问的坐标转换关系 导(豢)L。 …
同理，求转矩 M，(M )，再绕 Y轴 (：轴)转动一个很小的角
击 = 度 ，( )，则总体坐标系中绕Y轴 (z轴)的静电转矩为
= xt Yt，zt，t。 ．7 ]‘c- 孚(考)L。
， ． F：，F：t，F：：，M：．M：，M l (2
= [，y．：，a，卢，y，F ，F ，F ，M，，M，，M；]。 (3
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