电容式微机械加速度计部分力学特性的分析.pdfVIP

第 18 卷第 4 期 安 　徽 　工 　程 　科 　技 　学 　院　学 　报 Vol . 18. No . 4 2003 年 12 月 Journal of Anhui University of Technology and Science Dec . ,2003 文章编号 :1672 - 2477 (2003) 04 - 0057 - 05 电容式微机械加速度计部分力学特性的分析 傅德生 ,苏　伟 ,彭 　勃 ( 中国工程物理研究院 流体物理研究所 , 四川 绵阳　62 1900) 摘要 :推导了电容式微机械加速度计的悬臂梁在加速度作用下可能出现的两种挠度情况 ,分析了在制造过程 中残余应力对于加速度计造成的影响 ,推导了电容式微加速度计的工作原理 ,并推荐了相应的工作模式. 关 　键 　词 :加速度计 ;挠度 ;应力 ;差动电容 中图分类号 : TB 125 ; TP2 12 　　　　文献标识码 :A 引　　言 加速度计是一种重要的惯性敏感元件 ,在航空、航天 、航海 、军事及民用等领域都有着极其广泛的应 用. 近十余年来 , 电容式微机械加速度计以其独有的优势而成为了研究热点 ,发展迅速. 我国在这方面也开 展了相应工作 ,并取得了一些成绩. 本文将以芯片为三明治结构的电容式加速度计为例 ,对其在加速度作 用下悬臂梁的力学特性 、制造过程中的残余应力的影响以及检测原理等进行分析. 1 　基本理论 我们知道 ,一端有固定支撑点的悬臂梁 ,在其另一端施加 ( 横向作用力时 , 该梁将发生弯曲而成一挠度 曲线 如图 1 所 ) 示 . 于是 ,梁上任意一点处的曲率便为 : 1 d θ k = = 　, ρ ds ρ θ 式中: 为该点处的曲率半径; 表示该点切线与水平之夹角, θ 当沿着梁往正 x 方向走时曲率 k 随着 的增加保持正值. ( θ) θ 图 1 　悬臂梁在作用力加载时的挠度曲线 若挠度较小, 则有t an = d v/ d x ≈ 和 ds = d x , 所以 1 d θ d2 v d v 2 梁上任意一点处的曲率便为 : k = = = 2 , 当( ) 1 时成立. 又根据虎克定律知道, 梁上任意 ρ d x d x d x 一点的曲率与该点处的弯矩 M 有关, 即 M k = - 　, EI y 式中: E 指杨氏模量, Iy 为惯性矩, 其定义为 Iy = z 2 d z d x . 故, 对于小变形, 我们有 xz 2