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第3章 精密和超加工的机床设备 第3章 精密和超加工的机床设备 3-3 3-3 精密制造技术 精密制造技术 机电工程学院 制造工程系 机电工程学院 制造工程系 Guangdong University of Technology July,27, 2013 3.6 微量进给装置 1. 对微量进给装置的要求 1) 精微进给和粗进给应分开，以提高微位移的精度、分辨力和稳定性。 2) 运动部分必须是低摩擦和高稳定度的，以便实现很高的重复精度。 3) 末级传动元件必须有很高的刚度，即夹金刚石刀具处必须是高刚度的。 4) 微量进给机构内部联接必须是可靠联接，尽量采用整体结构或刚性联接， 否则这微量进给机构很难实现很高的重复精度。 5) 工艺性好，容易制造。例如要实现0.005~0.01μm的微进给，微量进给机构 本身各部分的精度，应是一般设备和工艺能保证的制造精度。 6) 微量进给机构应具有好的动特性，即具有高的频响。 7) 微量进给机构应能实现微进给的自动控制。 3.6 微量进给装置 1) 机械传动或 4) 流体膜变形式 液压传动式 2) 弹性变形式 工作原理 5) 磁致伸缩式 工作原理 3) 热变形式 6) 电致伸缩式 弹性变形式和电致伸缩 式微量进给机构比较成熟适用 3.6 微量进给装置 2. 电致伸缩传感器 1)．压电和电致伸缩传感器的材料  电致伸缩陶瓷片的伸长量实际是和它的表面的电荷量成比例  压电陶瓷PZT(PbZnO—PbT陶瓷)  美国AVX公司推出一种新的电致伸缩陶瓷材料  电致伸缩传感器用于制造微量进给机构有很多优点：  能够实现高刚度无间隙位移；  能实现极精细的微量位移，分辨力可达1.0~2.5nm；  变形系数较大；  有很高的响应频率，其响应时间达100μs；  无空耗电流发热问题。 3.6 微量进给装置 3．电致伸缩传感器的结构和性能  日本冈崎佑一研究的微量进给装置  美国FTS微量进给装置  英国Cranfield公司微量进给装置 电致伸缩传感器工作原理 电致伸缩传感器外形尺寸 a)方柱形 b)圆柱形 3.6 微量进给装置 表4.9 典型电致伸缩传感器 图4-28 电致伸缩和压电陶瓷 ( Φ6mm，长15mm)的主要性 传感器的电压——伸长量关系 能 3.6 微量进给装置 图4-29 日本冈崎佑一的微量进给装置 1—压电伸缩传感器 2—金刚石刀具 3—测微仪 3.6 微量进给装置  新结构微量进给装置 英国Cranfield的微量进给装置 1—压电伸缩传感器 2—弹性薄膜 3—差动电容 图4-30 美国LLL实