西南交大微电子传感器1.pdf

第一讲 微电子传感器概论 参考教材 《传感器技术》 贾伯年俞朴 东南大学出版社 关于本课程的几点说明 学时数：34 学分：3 培养目标：培养学生站在系统设计的高度，能够根据 系统的要求选用最适宜的传感器，并解决构成系统的 相关问题。 一、传感器概念 简单说传感器是把非电量信号变成电量信号的装置。 热光声 位移 电流 加速度 传感器 电压 速度 电阻 力 频率 力矩 湿度 气体 为什么要把非电量信号变成电量信号？ 非电量 电量 信号 信号 计算机等 传感器 控制装置 电子系统 如何将非电量信号变成电量信号？ 以湿度传感器为例 毛发测湿原理 毛发测湿原理，是利用人们熟知酌一种现象，即很多 物质在湿度发生变化时共长度随之变化。 当相对湿度从0变到100％时，通常人类毛发长度的变 化为其总长度的2 ．5 ％。这一变化可以通过机械放大用指 针指示出来。 毛发仲长与 相对湿度的 关系曲e 红外型湿度传感器 红外光源 水分子 红外光探测器 湿度与红外光强度衰减率有关 微波湿度传感器 湿度与微波强度 衰减率有关 发射天线 水汽 接受天线 电容型湿度传感器 孔洞 金属膜上电极 氧化铝膜 金属膜下电极 吸湿 水分子 电容？ 增加 电容型湿度传感器的响应曲线 Vaisala HUMICAP 复合电阻型湿度传感器 聚合物薄膜 炭粉链 金属膜电极 金属膜电极 吸湿膨胀 炭粉链断裂 水分子 增加 复合电阻型湿度传感器 的响应曲线 石英晶体振荡器构成的湿度传感器 石英晶体表面涂覆一层吸水物质，当吸水膜吸收水分时， 晶体的质量增加，从而改变了它的振荡频率。 石英晶体湿度传感器的