表面分析1-X射线光电子能谱.pdf

Huazhong University of Science and Technology 材料分析与表征技术 黄 云 辉 材料科学与工程学院 第二部分 表面分析技术 6 X-射线光电子光谱 （1）基本原理 （2 ）仪器及测试方法 （3 ）能谱分析及应用 §6-1 基本原理 一、电子能谱分析法概述 • 电子能谱分析法是采用单色光源（如X射线、紫外光）或 电子束去照射样品，使样品中电子受到激发而发射出来， 然后测量这些电子的产额（强度）对其能量的分布，从中 获得有关信息的一类分析方法。主要介绍： X射线光电子能谱法(XPS) （X-ray Photoelectron Spectroscopy ） 紫外光电子能谱法(UPS) （Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy ） 俄歇电子能谱法(AES) （Auger Electron Spectroscopy ） 二、X射线光电子能谱（XPS ）分析 1. XPS的发现 1954年，瑞典皇家科学院院士、Uppsala大学物理 研究所所长K. Siegbahn 教授研制出世界上第一台 Photoelectron Spectroscopy (XPS)。此后，精确 测定了元素周期表中各种原子的内层电子结合能。 但是，直到1960年代，他们在硫代 硫酸钠的研究中发现S原子周围化 学环境的不同，会引起S 内层电子 结合能（S2p ）的显著差异后，才 引起人们的广泛注意。因为：原子 内层结合能的变化可以提供分子结 构、原子价态方面的信息。 此后，XPS在材料研究的不同领域 样品受到X射线辐照后，发射出光电 内得到了广泛的应用。 子，被探测器收集后经过计算机处 理，得到该样品的XPS能谱图。 1981年Siegbahn教授获得了诺贝尔物理奖 2. XPS基本原理 电子能谱分析是一种研究物质表层元素组成与离子 状态的表面分析技术。其基本原理是利用单色射线照射 样品，使样品中原子或者分子的电子受激发射，然后测 量这些电子的能量分布。 通过与已知元素的原子或者离子的不同壳层的电子的能量相 比较，就可以确定未知样品中原子或者离子的组成和状态。 一般认为，表层的信息深度为 电子 电子 10 nm左右。如果利用深度剖 X射线 析技术如离子束溅射等，可以 对样品进行深度分析。 被测样品 （1）原子能级 原子中单个电子的运动状态可以用量子数n，l ，m ，m 来表示。其中：