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光学读出红外成像中反光板变形对光学检测灵敏度的影响-张青川.PDF
28 4 Vo.l28, No.4
2009 8 J.InfraredMillmi.Waves Augus,t2009
:100 1-90 14 (2009 )04-0249-05
1 1 ＊ 2 2 1 1 1 1
高 杰 , 张青川 , 陈大鹏 , 焦斌斌 , 史海涛 , 钱 剑 , 程 腾 , 伍小平
(1. , 2 30027;
2., 100029 )
:在刀口滤波光学读出方法 基础上, 讨论了反光板弯曲 情况下, 刀口滤波方法 光学检测灵敏度与反光板
长度之间 关系.分析表明, 在反光板曲率半径 一定 情况下, 光学检测灵敏度首先随着反光板长度 增加而增
大, 达到最大值后随着反光板长度 增加而减小.对于不同曲率半径和长度 反光板, 分析给出反光板长度 L和曲
2
率半径 R在满足 L/R=λ(λ为照明光波长)时, 光学检测灵敏度达到最大值.实验测量了已制作 像素尺寸分别
为 200μm, 120μm和 60μmFPA 光学检测灵敏度, 其实验结果和理论分析 一致.
:非制冷红外成像;双材料微悬臂梁;光学读出;焦平面阵列
:TB33 1;TN2 16 :A
EFFECTOFREFLECTORDEFORMATIONONOPTICAL
DETECTIONSENSITIVITYFOROPTICALREADOUT
INFRAREDIMAGINGSYSTEM
1 1 ＊ 2 2 1
GAOJie, ZHANGQing-Chuan, CHENDa-Peng, JIAOBin-Bin, SHIHai-Tao,
1 1 1
QIANJian, CHENGTeng, WUXiao-Ping
(1.CASKeyLaboratoryofMehanialBehaviorandDesignofMaterial,sUniversityofSieneand
TehnologyofChin,aHefe i2 30027, China
2.InstituteofMiroeletroni,sChineseAademyofSien,eBeijing 100029)
Abstra:tBasedontheoptialreadoutmethodwithknifeedgefilte,r therelationshipbetweentheoptialdetetion
sensitivityandrefletorlengthwasdisussedundertheirumstanethattherefletorwasben.tAnalysisindiatesthatthe
optialsensitivityinreaseswiththerefletor slengtheningatfirs,tthenitreahesamaximumvalu,eandthenitdereases
astherefletorontinuestolengthen.Fortherefletorswithdifferenturvatureradiiandlength,sanalysisshowsthatthe
2
sensitivitywillreahama
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