基于xps硬质合金刀具氧化磨损的试验分析.pdfVIP

４８ 工 具 技 术 基于ＸＰＳ硬质合金刀具氧化磨损的试验分析 石莉，姜增辉 沈阳理工大学 摘要：采用多功能表面分析系统对车铣加工 Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ钛合金的硬质合金刀具进行 Ｘ射线电子能谱分析 （ＸＰＳ）。通过对磨损区域进行全谱扫描和精细谱扫描，应用ＸＰＳＰＥＡＫ４．１和Ｏｒｉｇｉｎ７．５对所得数据进行分峰拟合 处理，最后分析了所生成的氧化物对刀具磨损和刀具寿命的影响。试验结果表明涂层材质为Ｓ３０Ｔ的刀具磨损表 面有ＴｉＯ、ＡｌＯ、ＣｏＯ和ＴｉＮ等物质生成；Ｈ１３Ａ非涂层材质刀具磨损表面有ＴｉＯ、ＷＯ 和ＣｏＯ等氧化物生成。 ２ ２ ３ ２ ３ ３ ４ 关键词：ＸＰＳ；氧化磨损；精细谱；氧化物 中图分类号：ＴＧ５０１．１；ＴＨ１６１　　　　　　文献标志码：Ａ ＡｎａｌｙｓｉｓｏｆＯｘｉｄａｔｉ