微电子机械系统(MEMS)发展展望.pdfVIP

维普资讯 · 展望 预测 · 电干科技导报 ／7U ●＼● ＼-＼吖 一 ＼ 微 电子 机械 系 统 (M EM S)发 展 展望 ?7cJ)／ TN 1I5f[摘要]本文对MEMS技术的发展概况进行介绍，对涉厦的科学技术问题进行讨论，并扼要论述 其重要意义。 关键词：兰 § 鲫 科学 z一 工 价格比比之毒机造技术 3l言 MEMS一词 由MieroElectroMechanical (4)MEMS中的 机械”不限于狭义的机 System 的四个字首组成，可译为微 电子机械系 械力学中的机械，它代表一切具有能量转化、传 统。6O年代初期已有人利用硅平面加工技术制 输等功能的效应：包括力、热、声、光、磁，乃至化 造微梁和压力传感器，7o～80年代硅传感器有 学、生物等； 很大发展，同时利用微加工技术 (Micromaehin— (5)MEMS的 目标是微 “机械”与 Ic集成 ing)制作出多种微小尺寸的机械零部件 。1988 的微系统…具有智能的微系统。 年UC(Berkeley)Muller口小组发表了转子直 用以上特征来衡量，用微 电子技术(不限 径为 60一lO0~m 的硅静 电马达 。同期，MIT、 于)制造的微小机构、器件、部件和系统等都属 于 MEMS范 围，微 机 械 和微 系 统 只说 明 Berkeley、Stanford三大学和 AT＆T及NSF的 MEMS发展的不同层次，而有关的科学技术都 l5名科学家向美国政府提出了。小机器、大机 可统称为MEMS技术。 遇 ，关于新兴领域——微动力学(微系统)”的建 当前 ，信息技术已走上多媒体、网络化和智 议书 ；NSF叉于 1989年召开了研讨会，其总结 能化的道路，微 电子信息处理已向系统级芯片 报告提出了 微 电子技术应用于 电(子)、机系 集成0发展。无论从微型化或性能价格比发展 统”。自此MEMS一词就渐渐成为一个世界性 看，信息获取 (传感)技术和信息执行技术，即所 的学术用语，MEMS技术的研究开发也 日益成 谓 外部设备”技术都已成为发展的瓶颈；它们 为国际上的一个热点。与MEMS一词同时流 与 “主机”的接 I：1(HI)也成为阻碍处理速度的 行的还有 MicroMachine(微机械)和 Micro 关键。MEMS技术的目标是把信息获取、处理 System(微系统)。它们都以微小(Micro)为特 和执行一体化地集成在一起，使之成为真正的 征，有的强调机械，有的强调系统，但当前人们 系统，因此它对信息技术的革命意义是不言而 常不加区别地与MEMS通用。 喻的 对于传统的 机械学”