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微波半导体器件 微波半导体器件 概述 微波二极管 转移电子器件（体效应器件） 微波晶体管 概述 微波半导体器件 工作在微波波段的二极管、晶体管 微 波 波长介于1m和1mm之间的电磁波。 相应频率在几百MHz －几百GHz 分 厘 毫 亚 米 米 米 毫 微波半导体器件广泛应用于微波通信系统、 波 波 波 米 遥测系统、雷达、导航、人造卫星、宇宙 波 飞船、导弹及电子对抗等领域。 电磁波波段的划分 波段名称及相应频带 微波器件的分类 按结构组成分： pn结器件 金属半导体接触器件 体效应器件 变容二极管、隧道二 肖特基势 转移电子 极管、阶跃恢复二极 垒二极管、 器件、耿 管、pin二极管、雪崩 MESFET 氏二极管 二极管、双极型微波 晶体管、HBT 金属半 耿氏效应 pn结的电容效应、隧道 导体接 （体效 效应、电荷储存效应、 触的特 应），能谷 雪崩击穿特性 性 间的电子转 移 主要微波半导体器件 名称 类型 常用材料 工作原理 主要功能 结构特点 变容二极 pn结器件 Si GaAs pn结的非 参量放大、 突变结 管 线性电容 倍频、电 超突变结 调谐 阶跃恢复 pn结器件 Si pn结电容 高效率、 缓变结 二极管 存储效应 高次倍频 pin二极管 pn结器件 Si 利用高阻i 微波开关、 单边突变 层在正、 移相器、 结 反偏压下 衰减器 台面型 对p ＋i结和 平面型