光学的设计高级讲习班-光学薄膜.pdf

光学薄膜及其应用 范正修 2006年10月26 日 1 主要内容 薄膜概况 光学薄膜一般性质 光学薄膜在一些光学系统中的应用 光学薄膜的激光损伤 2 主要内容 光学薄膜概况 光学薄膜一般性质 光学薄膜在一些光学系统中的应用 激光对光学薄膜的破坏 3 薄膜概况 研究领域 薄膜物理 薄膜化学 薄膜材料 薄膜力学 应用领域 光学薄膜 电学薄膜 半导体薄膜 磁性薄膜 生物薄膜 4 薄膜光学形成发展历史 17世纪中期，“牛顿环”现象的发现（Robert Boyle and Robert Hooke ） 1801 Thomas Yong引入光波干涉原理 1816 Fresnel 发现了光波偏振特性,结合Yong干涉理 论及Huygens的子波传播理论形成了光波衍射理论 1817 Fraunhofer制成了第一块减反薄膜 1873 Maxwell提出了Maxwell方程（A Treatise on Electricity and Magnetism） 5 1886 Rayleigh 证实了Fresnel反射定律 1899 Fabry-Perot 干涉仪 1932 Rouard发现金属薄膜可以增加外部反射、降低内部 反射 1934 Bauer用卤化物制备了减反薄膜 1934 Pfund用ZnS为Michelson干涉仪制备分束镜 1939 Geffcken制备了金属－介质干涉滤光片 6 光学薄膜概况 薄膜特点 干涉原理，相干相长与相干相消 重要性 “有光就有膜” 涉及生活方方面面，如眼镜，装饰膜等，投影系统， 光学系统，大型激光装置等 面临问题 涉及到薄膜制备的各个方面，如可用材料少，材料特 性可控程度不高，仍不能任意设计光性曲线，可用沉 积技术少，沉积过程控制水平不高等； 7 主要内容 薄膜概况 光学薄膜一般性质 光学薄膜在一些光学系统中的应用 激光对光学薄膜的破坏 8 光学薄膜一般性质 理想光学薄膜 光学薄膜吸收及散射 折射率不均匀性和折射率渐变薄膜 薄膜的各向异性和双折射薄膜 薄膜的偏振和消偏振特性 9 薄膜的相位及位相薄膜 等效折射率、等效导纳和等效界面 薄膜的色散及色散补偿 薄膜的应力及应力控制