用Franz-Keldysh效应研究.PDFVIP

下载本文档

94
0
约1.7万字
约 6页
2017-10-15 发布于上海
举报
版权申诉

用Franz-Keldysh效应研究.PDF

1、本文档共6页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

　第 20 卷第 11 期半　导　体　学　报 . 20, . 11 V o l N o 　1999 年 11 月 CH IN ESE JOU RNAL O F SEM ICONDU CTOR S N ov. , 1999 用 - 效应研究 Franz Keldysh GaA s 表面硫化学钝化廖友贵　金　鹏　李乙钢　张存洲　潘士宏 (南开大学物理系　天津　300071) 梁基本 ( 中国科学院半导体研究所　北京　100083) 摘要　硫钝化是一种比较有效的钝化表面的方法. 本文使用、和 GaA s N a S S C l CH CSN H 2 2 2 3 2 ( + ) 三种化学试剂对表面本征层重掺杂层结构的样品进行了钝化, 利用光调制反射 s i n GaA s 谱观察到许多个振荡, 测量出本征层的电场强度, 研究了表面硫钝化前后 F ranz Keldysh GaA s 费米能级的变化, 并且比较了各种钝化方法的钝化效果. : 8160 , 7865, 7320 PACC C 1　引言近年来利用分子束外延( ) 生长的表面本征 + (或 + ) 结构 + (或 + ) , 同时 M BE n p S IN S IP 利用光调制反射谱( ) 的效应( ) , 可以精确地确定半导体表面层中的 PR F ranz Keldysh FKE [ 1 ] 电场强度, 为研究各种表面和界面问题提供了一种比较简便的方法 . GaA s 表面的硫钝化处理能够有效地减小表面态密度和表面复合速率, 改善器件的特性, 是一个受到广泛关注的研究课题. H ildeb randt 等曾用 FKE 方法研究过掺杂 GaA s 的硫钝化, 采用( ) 水溶液 N H 4 2 S 作钝化剂, 发现费米能级的钉扎位置向价带顶位移 038eV , 表面态的分布作了相应的移 [ 2 ] + [ 3 ]