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第 15 卷　第 2 期 应 用 力 学 学 报 . 15　 . 2 V o l N o 1998 年 6 月 CH INESE JOURNAL OF APPL IED M ECHAN ICS Jun. 1998 薄膜材料微观力学行为的有限元分析 蔡　王旬　周平南　杨晓豫 (上海交通大学　上海　200030) 摘　　要 采用有限元法对材料表面改性层和薄膜材料在显微压入过程中的力学行为进行 了计算机模拟。从所得的载荷与压入深度的关系曲线、压痕周围应力、应变场的大小 和形状分布曲线等为依据, 对在超显微硬度测试中基底材料及界面层的影响进行了 详细的讨论, 并得出: 为排除基底材料的影响, 通常规定压入深度(D ) 不得超过膜厚 ( ) 的 10～ 20% 的规则并不适用于所有薄膜系统。测试时, 允许的 的临界比值将 t D t 随薄膜系统不同而异。对软膜硬基底系统而言, 由于压头下的塑性应变区更多的是沿 膜层的横向扩展, 故 c 允许大于上述规定值, 而对硬膜软基底系统而言, 则由于压 D t 头下的塑性应变区很容易扩展到基底材料中去, 其 c值将小于上述规定值。 D t 关键词: 薄膜材料; 压入过程; 临界载荷计算机模拟 1　前　言 材料表面改性和薄膜材料是近年来材料科学的一个重要发展新方面。由于膜厚一般很薄, 仅为 m 数量级, 且存在膜、界面和基底之间的交互作用, 这就给它的评价方法大大增添了难 度。以薄膜重要的力学性能测试为例, 衡量薄膜的力学特性不能采用块状材料试验中的拉伸、 冲击等方法。目前公认的一种超显微硬度测试技术或纳米压入技术是近年来发展起来的一种 测试分析新技术。由于测试负荷低、压痕尺寸小, 且作为扫描电子显微镜的附加装置与电镜联 用, 可充分利用电镜放大倍数大, 分辨率高的特点, 其定位和测量精度均很高。另外, 它操作简 便、迅速, 不需要特别制备样品, 系无损检测, 犹如一种强度的显微探针, 在研究薄膜材料、微观 质点和微区域的力学行为上很具特色[ 13 ] 。 随着计算机科学技术的发展, 计算机模拟技术在材料科学与工程中的应用也愈来愈广泛。 本文为配合薄膜材料的超显微硬度测试, 拟采用有限元分析法对其压入过程进行计算机模拟, 以解释实验中的某些特殊现象, 特别是试图对测试中基底材料的影响和允许的临界压入深度 ( ) ( ) ( ) 与膜层厚度 的比值 的确定提出更满意的解释。 D c t D c t 来稿日期: 修回日期: © 1995-2004 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved. 第 2 期 薄膜材料微观力学行为的有限元分析 63 2　薄膜的超显微硬度测试 采用负荷 10- 2 的 3 型超显微硬度测量仪, 对各种 、 方法和离子束 N UM H T