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2017-09-29 发布于湖北
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chapter 1 薄膜制备的真空技术基础.pdf

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chapter 1 薄膜制备的真空技术基础

膜材料与表膜材料与表界面界面主讲老师：谢娟 Tel Email：jennyx99@163.com 1 College of Materials Science and Engineering, SWPU jennyx99@163.co Email: jennyx99@163.com ; Tel Public Email: clwlxnswpu@163.com 2012clwlxn College of Materials Science and Engineering, SWPU jennyx99@163.co 课程基本情况课程类别：专业课课程学时：总学时课程学时：总学时4040 学分： 2.5 3 College of Materials Science and Engineering, SWPU jennyx99@163.co 教材及参考书教材：《薄膜材料制备原理、技术及应用》第二版唐伟忠，冶金工业出版社《材料表界面》第二版，胡福增陈国荣杜永娟，华东理工大学出版社参考书《薄膜物理与技术》杨邦朝王文生，电子科技大学出版社《半导体薄膜技术与物理》叶志镇浙江大学出版社《膜化学与技术教程》徐铜文中国科学技术大学出版社《表面、界面和胶体》德鲁.迈尔斯著, 吴大诚朱谱新罗新等译化学工业出版社 4 College of Materials Science and Engineering, SWPU jennyx99@163.co 考核方式平时成绩占30%：  主要包括作业  出勤率出勤率  课堂纪律及回答问题期末考试（闭卷）成绩占70% 5 College of Materials Science and Engineering, SWPU jennyx99@163.co 本课程主要授课内容 • 第一章薄膜制备的真空技术基础 • 第二章薄膜的物理气相沉积—蒸发法 • 第三章薄膜的物理气相沉积—溅射法 • 第四章薄膜的物理气相沉积—离子镀法及其他PVD方法 • 第五章薄膜化学气相沉积 • 第六章薄膜的生长过程和薄膜结构 • 第七章薄膜材料的表征方法 • 第八章