TR7500 坐标精度验证步骤 幻灯片.pptVIP

Quanta Confidential Quanta Group Quanta Confidential P-* * Quanta Confidential Quanta Group * Quanta Confidential Quanta Group TR7500 坐标精度验证步骤 Index 目的及意义 试验设计 程式制作 TR7500 坐标偏 移验证步骤 测试验证 数据收集及整理 数据分析 理想状态下，当AOI取像未发生任何形式的扭曲以及图片之间的拼接完全吻合时，AOI取的图片应与实物吻合。在这种前提下，如果做程式的CAD档坐标是精准的；板子是没有任何弯曲的；做程式的方法是正确的那么我们做出来的程式的检测窗口就应与元件完全重合。但由于误差我们需要给机器一个允许误差的范围，范围越小意味着机器量测越精准。 为了保证机器量测的精准度我们需要用一种可靠的方式去验证它，然后再根据验证的结果用一种可靠的方式去校正它，校正后再去验证直到它处于允许的误差范围内。校正后的机器又会以时间为曲线有一个从准确到超出标准的过程，而这个时间周期就是我们校正的周期。目前，由于坐标偏移造成的误判已跃居第一位，但按照厂商的坐标校正方式来看(Parallelogram X為0±1 ; Parallelogram Y為0±1 ; Horizontal-Shift 為0 (±1) ; Vertical-Shift為0 (±1)；XY Scale為50 )机器偏差在标准范围内，实际上这种校正方式只是针对相机旋转角度偏移程度及焦距的校正，在测试过程中相机是移动的取像的精准度不仅仅取决于相机的焦距角度等。因为TR7500取像的方式为Read on the fly 这就要求相机取像、XY Table移动、光源打光同步，也就是说取像频率打光频率XY Table的速度必须要是匹配的以及图片拼接要是准确的，静态OK不等于动态也OK，所以这种校正衡量的方式是片面的，TRI需要增加或者改变校正的方式，在静态校正OK后，通过动态取像获得每台机器每个FOV的偏移量再对每个FOV进行补偿。但这种补偿方式只能针对固定方向的偏移对无规则偏移则无效。 目的及意义 试验设计 设计原理：做程式时，如果CAD档坐标是精准的；板子平面是绝对水平的；做程式的方法是正确的那么做出来程式的坐标就应该是无偏移的。反之，如果有偏移则是机器造成的。 前置准备： 一. SAKI校正用小玻璃板一块如图(1)： 玻璃板上的点距为（5mm，5mm）；每个点的直径为1mm 图（1） 选择SAKI校正用玻璃板是因为玻璃板的板弯很小接近于0，且测试点的坐标精度相对有保障。 试验设计 二. 玻璃板坐标档如附档： 坐标档定义：假设最左下角的点坐标为(0,0)那么在第一行它X方向相邻的点的坐标则依次为(5,0)；(10,0)；(15,0)Y方向相邻的点的坐标则依次为(0,5)；(0,10)；(0,15)，在X方向取20个点Y方向取40个点那么CAD中点的数量为800个。 疑问：SAKI玻璃板的坐标精度可靠吗 答：SAKI 10um机器的玻璃板是专为SAKI10um机器设计的校正块，因为10um机器每个pixel大小为10umx10um所以校正块也精确到10um，而我司TR7500的解析度为15um每个pixel大小为15umx15um，用10um玻璃板最好，这样精度有保障，但如果只有18um机器的玻璃板亦可。因为相差也不大！ ？ 三. 确认硬件参数值 试验设计 打开菜单栏的Utilities选择system parameters display确认M Speed值是否为42 在注册表中确认X Overlap，Y Overlap值是不是均等于20，FOV TOP PHASE是否为1 如果与上述相符那么意味着这是厂商在出厂后修改过的硬件参数，为1Phase配置，机器的出