电容式传感器知识点.pdfVIP

第5章 电容式传感器 第5章 电容式传感器(知识点) 知识点1 电容式传感器概述 电容式传感器利用了将非电量的变化转换为电容量的变化来实现对物理量的测量。电容 式传感器广泛用于位移、振动、角度、加速度，以及压力、差压、液面 （料位或物位）、成 份含量等的测量。 知识点2 电容式传感器的结构 电容式传感器的常见结构包括平板状和圆筒状，简称平板电容器或圆筒电容器。 平板电容式传感器的结构如图5.1所示。在不考虑边缘效应的情况下，其电容量的计算 公式为：  A   A C＝ ＝ 0 r （5.1） d d 式中： A －两平行板所覆盖的面积  －电容极板间介质的介电常数  －自由空间 （真空）介电常数 （等于8.854×10-12F m ） 0  －极板间介质相对介电常数 r d －两平行板间的距离。 图5.1 平板电容式传感器的结构 A  由式 （5.1）可见，当被测参数变化引起 、 或 变化时，将导致平板电容式传感器 d r C 的电容量 随之发生变化。在实际使用中，通常保持其中两个参数不变，而只变其中一个 参数，把该参数的变化转换成电容量的变化，通过测量电路转换为电量输出。因此，平板电 容式传感器可分为三种：变极板覆盖面积的变面积型、变介质介电常数的变介质型和变极板 间距离的变极距型。 94 传感器与检测技术 （第2 版） 圆筒电容式传感器的结构如图5.2所示。在不考虑边缘效应的情况下，其电容量的计算 公式为： 2  l C 0 r （5.2） R ln r 式中： l －内外极板所覆盖的高度 R －外极板的半径 r －内极板的半径  －自由空间 （真空）介电常数 （等于8.854×10-12F m ） 0  －极板间介质的相对介电常数 r 图5.2 圆筒电容式传感器的结构 由式 （5.2）可见，当被测参数变化引起 或 变化时，将导致圆筒电容式传感器的电  l r 容量 随之发生变化。在实际使用中，通常保持其中一个参数不变，而改变另一个参数， C 把该参数的变化转换成电容量的变化，通过测量电路转换为电量输出。因此，圆筒电容式传 感器可分为两种：变介质介电常数的变介质型和变极板间覆盖高度的变面积型。 知识点3 电容式传感器的工作原理 5.1.1 变面积型 （1）线位移变面积型 常用的线位移变面积型电容式传感器有平板状和圆筒状两种结构，分别如图5.3所示 （a）和 （b）所示。 95 第5章 电容式传感器 图5.3 线位移变面积型电容式传感器原理图 对于平板状结构，当被测量通过移动动极板引起两极板有效覆盖面积 发生变化时，