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电容式传感器原理及应用
凌运起
4A215110
车辆三乙
电容式传感器原理及应用
机电学院
工作原理:将被测量转化为电容量变化。
两平行极板组成的电容器，
+ A 其电容量为:
+
+ A
C 0 r
δ、A 或 ε发Th 变化
时，都会引起电容的
变化。
1、极距δ变化型 + +
+
+
+
+
A
C 0 r
工作特性：
◆灵敏度s与极距的平方成反比，极距越小，灵敏
度越高，但极距减小受电容极板间击穿电压的限
制。一般 ＝0.1～1mm左右。
0
◆电容量C与极距δ呈非线性关系，为了减小非线
性误差，通常极距变化范围/ 0.01～0.1 。
0
◆此类电容传感器仅适于微小位移的测量
（0.01m～数百微米）；非接触测量
机电学院
2 、面积变化型：常用的有角位移型和线位移型两种。
机电学院
由于平板型传感器的可动极板稍有极距方向移动会
影响测量精度，因此，一般情况下，变面积型电容式
传感器常做成圆柱形。
面积变化型与极板变化型比较
面积变化型电容传感器的优点是输出与输入成线性
关系，但与极板变化型相比，灵敏度较低，适用于较
大角位移及直线位移的测量。
常用于测量电介质的厚度、位移、液位，还可根据
极板间介质的介电常数随温度、湿度、容量改变而改
变来测量温度、湿度、容量等。
电容式传感器的优缺点:
优点：
(1)输入能量小而灵敏度高。
(2)精度高达0.01 。
(3)动态特性好，适合测量动态参数。
(4)能量损耗小。
(5)结构简单，环境适应性好 （高温、辐射等）。
缺点：电缆分布电容影响大。
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电容式传感器广泛应用在位移、压力、流量、液位
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