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2017-11-18 发布于天津
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Case 4 PSR 前处理化学品 AFM EXM-CB6000 传统的 (Size : 100㎛*100㎛) (Size : 100㎛*100㎛) 分类 EXM-CB6000 传统的处理条件蚀刻量 1 ㎛前处理 N/A Ra 5.740E+02 nm 4.360E+02 nm Result(1) Rz 1.748E+03 nm 1.449E+03 nm 1) 测量形态特征: SPA500(Seiko Instrument Inc.) SEM 时间 EXM-CB6000 传统的条件 30sec 实验条件 -高压喷水: 0.1MPa -温度: 25℃ -材料: CCL -蚀刻时间: 30/60sec 60sec Copyright Copyright ⓒⓒ2010 EXTOL. All rights reserved2010 EXTOL. All rights reserved Case 4 PSR 前处理化学品蚀刻速率随温度的变化 EXM-CB6000 Conventional 2.0 1.8 1.6 ) n 1.4 i m / 1.2 ㎛ ( e 1.0 t a r 0.8 g n i 0.6 h c t 0.4 E 0.2 0.0 15℃ 20 ℃ 25 ℃ 30℃ 35℃ 40 ℃ Temperature( ℃) 表面粗糙度随CU浓度的变化 Cu Conc.