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    第卷第期光学精密工程年月文章编号微驱动定位系统及其在误差补偿机器人中的应用晏祖根孙立宁节德刚哈尔滨工业大学机器人研究所黑龙江哈尔滨摘要介绍了基于偏摆误差补偿的高速高精度机器人系统组成及偏摆误差补偿原理利用有限元分析软件设计了双层平行板弹性铰链结构压电陶瓷直接驱动的微位移工作台采用模糊控制算法对微动工作台进行闭环控制既利用模糊控制灵活适应性强的优点又利用控制精度高的优点实验结果验证了模糊控制算法的有效性采用微动工作台补偿偏摆误差机器人的运动性能得到较大提高关键词微驱动压电陶瓷误差补偿有限元分析机器

    第 卷 第 期 光学 精密工程 １３ ６ 　 Ｖｏｌ．１３ Ｎｏ．６ 　 　 　　　　　　　　 　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎ

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