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光学杠杆法微形变测量中光斑中心求取方法研究* 1 1 1 2 吴剑锋 ，李建清 ，宋爱国 ，林保平 1 东南大学仪器科学与工程学院，（210096 ） 2 东南大学化学化工学院，（210096 ） E-mail ：wjf1975173@ 摘 要：首先简要介绍了光学杠杆法微形变测量系统组成及其原理，然后进一步研究了光学 杠杆法中的光斑特征及其常有畸变，在此基础上研究了光斑中心求取方法。针对光斑常见的 平台畸变和本系统易出现的光斑倾角问题提出了多椭圆环质心法和曲面拟合法相结合的方 法，进行光斑中心的求取。理论分析和实验结果表明：该方法能有效消除光斑中心平台、烧 孔及衍射孔等畸变，并可以为倾角判断提供依据。 关键词：微形变测量，光学杠杆法，饱和平台，多椭圆环质心法，曲面拟合法 中图分类号: TN248 [1~3]