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機 械 專 題 報 告  真空幫浦 班級:自控四乙 學號 姓名:鄭宏昇 圖片來源:.tw/shopping/Browse.do?op=vpsid=158cid=28472pid=1311728 (Vacuumpump) 目 錄 介 紹 真空幫浦發展史 何謂真空幫浦 真空幫浦種類介紹 真空幫浦原理 真空幫浦用途 參考文獻 圖片來源: /supplier/product_details.asp?ProID=1491SupID=1432 真空幫浦-發展史 真空幫浦技術是一項古老的技術，早在 1640 年 Galileo 即曾經利用活塞機構來抽真空。現今之真空幫浦則與舊有的幫浦在抽氣性能、功能設計及應用範圍上有著截然不同之處。最主要原因是因應高科技產業如半導體製造及光電產業等 圖片來源: /f?kz=491135475 馬德寶半球實驗 何謂真空幫浦 一特定空間內之氣體去除，以減低氣體分子數目，造成某種程度之真空狀態之機件，統稱為真空幫浦。有的真空幫浦是將真空裝置內的氣體輸送到較高壓力的外部而排出，諸如油旋轉幫浦、擴散幫浦或噴射幫浦之類的蒸氣噴射泵浦。 圖片來源.tw/shopping/Browse.do?op=vpsid=158cid=28472pid=13