《微动机器人精密位移测量系统》.pdf

微动机器人精密位移测量系统 哈工大机器人研究所 哈工大博实精密测控有限责任公司 微动机器人测量系统 微动机器人测量系统 • 微动机器人系统需要位移测量系统从而 实现闭环控制 纳米级的精密位移测量系统是实现 高定位精度的微动机器人系统的必要组 成部分，是提高微动机器人系统精度的 一个决定性环节。 常用的测量微位移传感器 常用的测量微位移传感器 电阻应变式 结构简单，频响特性好，成本低。但在实际 应用中，分辨力受到限制，而且属于接触式 位移传感器 传感器。 电感式 结构简单，但其抗干扰能力较低和动态特性 较差，零点残余电压不易消除，而且多数情 位移传感器 况下也是接触测量，限制了其应用。 电容式 方法本身存在一些不易解决的问题，但其具 有灵敏度高，非接触，反作用力极微小，结 位移传感器 构简单，体积小，便于集成。 可以得到纳米级的定位精度，但是双频激光 双频激光干涉仪 干涉仪的系统庞大、造价昂贵，微驱动器的 结构复杂，对测量环境的要求也非常苛刻。 课题的主要工作 课题的主要工作 • 常用电容传感器的测量电路的比较 及选择 • 开关电容式传感器测量电路的设计 • 开关电容式位移测量系统的实现 • 实验研究 常用电容传感器的测量电路 常用电容传感器的测量电路 的比较及选择 的比较及选择 • 交流电桥电路 • 运算放大器式电路 • 二极管式测量电路 • 差频调频测量电路 • 差动脉冲调宽电路 • 开关电容式电路 交流电桥电路 交流电桥电路 放大器 E1 C1 相敏 滤波