离子色谱法测定蚀刻槽废氢氟酸中的六氟硅酸.PDFVIP

２０１６年１０月 Ｖｏｌ．３４ Ｎｏ．１０ Ｏｃｔｏｂｅｒ ２０１６ ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ ９８２～９８５ 离子态化合物色谱分析专栏 ·研究论文 ＤＯＩ：１０．３７２４／ ＳＰ．Ｊ．１１２３．２０１６．０５０２１ 离子色谱法测定蚀刻槽废氢氟酸中的六氟硅酸 ∗ 霍世欣 ，　 罗全迁，　 曹　 琳 （瑞士万通中国有限公司，上海 ２００３３５） 摘要：建立了一种新的检测蚀刻槽废氢氟酸中六氟硅酸的离子色谱方法。 色谱柱为Ｍｅｔｒｏｓｅｐ Ａ Ｓｕｐｐ ７ 阴离子交 换柱，流动相为３２ ｍｍｏｌ／ Ｌ碳酸钠⁃１０