绒面ZnO薄膜的生长及其在太阳电池.PDFVIP

维普资讯 第 28卷 第 7期 半 导 体 学 报 Vo1．28 No．7 2007年 7月 CH INESE JOURNALOFSEM IC0NDUCTORS July，2007 绒面 ZnO薄膜的生长及其在太阳电池 前 电极的应用* 陈新亮 薛俊明 孙 建 赵 颖 耿新华 (南开大学光电子薄膜器件与技术研究所 ，南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室， 南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室，天津 300071) 摘要 ：研究了MOCVD技术制备的不同 B2H6掺杂流量下 ZnO薄膜 的微观结构和光 电性能变化 ．XRD和 SEM 的研究结果表 明，ZnO薄膜具有 (110)峰择优取向的绒面结构特征 ．当 B2H6流量为 10sccm 时，在 6cm×6cm面积