薄膜成分,微结构及力学性能表征.pdfVIP

理化检验一物理分册 Vo1．34 No．12 ④ PTCA (PART A：PHYs1CAL TESTING) Dec．1998 黧一 薄膜成分、微结构及力学性能表征 、 许俊华 李戈扬 顾明元 李鹏兴 (上海交 孳至璃墓夏否石 国家重点实验室上海200030) 摘 要 简要综述表征薄膜成分、微结构及力学性能的常用方法。 主题词 薄膜 微结构 成分 力学性能 表征 ——— ‘—————一 ————～ CHARACTERIZAT10N 0F MICRoSTRUCTURE CoMPOSIT10N ．