激光辅助局部电化学沉积的试验研究.PDF

第 46卷第 5期 南 京 航 空 航 天 大 学 学 报 Vo1．46No．5 2014年 1O月 JournalofNanjingUniversityofAeronautics AstrOnautlcs Oct．2014 激光辅助局部 电化学沉积的试验研究 蔡明霞 张朝阳 姜雨佳 苏 纯 冯钦玉 黄 磊 (1．江苏大学机械工程学院激光技术研究所 ，镇江 ，212013； 2．常州工学院机电工程学院，常州 ，213000) 摘要 ：在局部 电化学沉积加工体系中引入纳秒脉冲激光，利用激光辐照和局部 电化学沉积 的方法对铜进行三维 微结构的沉积试验 。分析 了激光 的热力效应对局部 电化学沉积 的作用机理。构建 了激光辅助局部 电化学沉积 的试验 系统，进行 了沉积试验 ，并利用扫描 电子显微镜 (Scanningelectronmicroscope，SEM)和 x射线能量色散 色谱仪对电沉积体进行 了检测 。试验结果表 明激光辅助局部电化学沉积相较于普通 的局部 电化学沉积 ，定域性 好 。随着激光能量的增加 ，沉积体 的高宽比增加 ，定域性提高。同时，激光还可 以减少 阴极杂质 的吸 附，提 高沉 积体 的纯度 。 关键词 ：局部 电化学沉积 ；激光辐照 ；高宽比；定域性 中图分类号 ：TN249 文献标志码 ：A 文章编号 ：1005—2615(2014)05—0769—05 ExperimentofLaser。AssistedLocalizedElectrochemicalDeposition CaiMingxia ，ZhangZhaoyang ，JiangYujia ，SuChun。，FengQinyu ，HuangLei (1．SchoolofMechanicalEngineering，JiangsuUniversity，Zhenjiang，212013，China； 2．SchoolofMechanicalandElectricalEngineering，ChangzhouInstituteofTechnology，Changzhou，213000，China) Abstract：PulselaseriSintroduced in thelocalized electrochemicaldeposition system ，andthree—dimen— sionalcoppermicrostructuresareconstructedbyacompoundprocessingoflaserirradiationandlocalized electrochemica1depositiondeposition．Thethermaleffectand plasmaeffectsofthelaseron localized electrochemicaldeposition areanalyzed． The experimentalsystem oflaser—assisted localized electro— chemicaldepositionisestablished，andexperimentsarecarriedout．Thescanningelectronmicroscope (SEM )andenergydispersiveX—rayspectroscopyareutilizedtodetecttheelectroplatedstructures．The resultsshow thatcomparedwiththeelectroplatedfeaturesgrownwithoutlaserirradiation，theelectro— platingspeedoffeaturesgrownwithlaserirradiationisfasterandthelocalizationisbetter．W iththein— creaseofthelaserenergy，thedepositingaspectratioincreases．M eanwhile，withlaserirradiation，the impur