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人射光束角度及强度偏差对多光束干涉光刻结果的影响-光子学报.PDFVIP

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  • 2017-10-02 发布于天津
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人射光束角度及强度偏差对多光束干涉光刻结果的影响-光子学报.PDF

    人射光束角度及强度偏差对多光束干涉光刻结果的影响-光子学报

    ４４ １０ 　 　 　 Ｖｏｌ．４４Ｎｏ．１０ 　　　　　　　　　　　　 ２０１５ １０ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｏｃｔｏｂｅｒ２０１５ ： ／ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘ１０１１００３ ｇ ， ， ， ， ， ， ， （ ， ）

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