双温方程用于飞秒激光烧蚀金属的模拟分析-激光与红外.PDF

第４２卷　 第８期 　　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４２，Ｎｏ．８ 　 ２０１２年８月　　 　 　　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ａｕｇｕｓｔ，２０１２ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１２）０８０８４７０５ ·激光应用技术 · 双温方程用于飞秒激光烧蚀金属的模拟分析 陈安民，姜远飞，刘　航，金明星，丁大军 （吉林大学原子与分子物理研究所，吉林 长春 １３００１２） 摘　要：讨论了双温模型在不同近似下的电子热传导率对于模拟飞秒激光烧蚀金属过程中靶 材的电子温度和晶格温度分布的影响，用有限差分法对飞秒激光脉冲烧蚀金属靶的过程的温 度场进行了一维数值计算，以铜靶为例给出了靶材电子与晶格温度分布随时间和深度的演化 规律并进行了分析，结果表明不同近似下电子热传导率对于模拟温度分布计算结果有着重要 的影响。 关键词：激光烧蚀；电子热传导率；双温模型；金属薄膜 中图分类号：ＴＮ２４９；Ｏ４３７　 文献标识码：Ａ　 ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１２．０８．００１ Ｎｕｍｅｒｉｃａｌｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｏｆｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒａｂｌａｔｉｏｎ ｂｙｔｗｏｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｍｏｄｅｌ ＣＨＥＮＡｎｍｉｎ，ＪＩＡＮＧＹｕａｎｆｅｉ，ＬＩＵＨａｎｇ，ＪＩＮＭｉｎｇｘｉｎｇ，ＤＩＮＧＤａｊｕｎ （ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＡｔｏｍｉｃａｎｄＭｏｌｅｃｕｌａｒＰｈｙｓｉｃｓ，ＪｉｌｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ１３００１２，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ，ｔｈｅｅｆｆｅｃｔｓｏｆｔｈｅｅｌｅｃｔｒｏｎｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅａｎｄｌａｔｔｉｃｅｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎａｒｅｄｉｓｃｕｓｓｅｄｉｎ ｄｉｆｆｅｒｅｎｔａｐｐｒｏｘｉｍａｔｉｏｎｅｌｅｃｔｒｏｎｔｈｅｒｍａｌｃｏｎｄｕｃｔｉｖｉｔｙｂｙｔｗｏｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｍｏｄｅｌｄｕｒｉｎｇｔｈｅｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒａｂｌａｔｉｏｎ ｍｅｔａｌｐｒｏｃｅｓｓ．Ａｏｎｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｎｕｍｅｒｉｃａｌｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎｆｏｒｔｈｅｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｆｉｅｌｄｏｆｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｐｕｌｓｅｌａｓｅｒａｂｌａｔｉｏｎ ｍｅｔａｌｔａｒｇｅｔｉｓｐｅｒｆｏｒｍｅｄｂｙｆｉｎｉｔｅｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅｍｅｔｈｏｄ．Ｔｈｅｃｏｐｐｅｒｔａｒｇｅｔｉｓｇｉｖｅｎａｓａｎｅｘａｍｐｌｅｏｆｔｈｅｅｌｅｃｔｒｏｎａｎｄｌａｔ ｔｉｃｅｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎｗｉｔｈｔｈｅｅｖｏｌｕｔｉｏｎｏｆｔｉｍｅａｎｄｄｅｐｔｈ．Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｈｏｗｓｔｈａｔｄｉｆｆｅｒｅｎｔａｐｐｒｏｘｉｍａｔｉｏｎｅｌｅｃ ｔｒｏｎｔｈｅｒｍａｌｃｏｎｄｕｃｔｉｖｉｔｙｈａｓａｎｉｍｐｏｒｔａｎｔｉｎｆｌｕｅｎｃｅｏｎｔｈｅｆｉｎａｌｃａｌｃｕｌａｔｅｄｒｅｓｕｌｔｏｆｔｈｅｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｌａｓｅｒａｂｌａｔｉｏｎ；ｅｌｅｃｔｒｏｎｔｈｅｒｍａｌｃｏｎｄｕｃｔｉｖｉｔｙ；ｔｗｏｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｍｏｄｅｌ；ｍｅｔａｌｆｉｌｍ １　引　言 短，宏观连续的热传导模型已不能描述飞秒激光和 随着超短脉冲激光技术的发展，激光对材料的 材料的作用过程。利用玻耳兹曼输运方程简化得到 微加工和烧蚀机理受到广泛的重视，包括在基本理 的一维双温模型可对电子和声子耦合系统进行研 ［１－６］ 论和实际的技术应用方面 。脉冲激光烧蚀 究。在飞秒脉宽作用条件下将双温模型进行简化， （ｐｕｌｓ