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微小机器人的移动方式-光学精密工程
84 Vol. 8, No. 4
2 0 0 0 8 OPT ICS A ND PRECISION ENGINEERING Aug . , 2000
1004-924 ( 2000) 04-0303-06
X
李 , 章亚男, 龚振邦
( 上海大学精密机械工程系, 上海 201800)
: ,
,
, ,
,
: MEMS; 微小机器人; 移动; 驱动
: TP24: A
1 引 言 ,
( ) ,
MEM S M icro Electro Mechanical S stem
21 , ,
[ 1]
, M EM S 2 微小机器人的移动方式
,
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MEM S 2. 1
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[ 3]
1 ,
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, ( 1a) , 1
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2 ; ( 1b) ,
2 ,
, ,
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,
: 2000-03-17; : 2000-04-03
: 863 ( 863- 512- 9805- 16) ; ( 698890501)
304 8
, ,
8. 4 / , 6. 6 /
; ( 1c) , mm s mm s NTT
, 1 ,
[ 5]
1 , 2 , ,
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DENSO
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