硅集成电感元件的分析!设计与优化.PDFVIP

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硅集成电感元件的分析!设计与优化

第 卷增刊 半 导 体 学 报 *’ aD2*’ % D9196C ! ! ! ! ! GG 年 月 $ *++. ’ #8Q!%!M_e]Q$?_^%!=#_QNe#[_]% M69*++. 硅集成电感元件的分析 设计与优化# ! 张跃鲤 张文俊 ! 清华大学微电子学研究所 北京 # $ % ,+++-( ! 摘要 利用采用 方法的计算软件 对片上集成电感进行 ’ # % ^N[N @;6;C9JI;@@9F96E9C;19JI15;619C4I %!J!=?$\ $ ’ ’ ’ ’ ’ 了模拟 并分析了电感的金属宽度 金属间隔 线圈外直径 线圈匝数等设计参数对电感的品质因数 电感值 电阻 值等参数的频率特性的影响$进而提出了一种应用于片上集成电感的优化设计的方法2 ’ ( ( ( ( 关键词 ^N[N方法 品质因数 电感值 电阻值 设计参数 ) ( ’’% ,0.+8 *,(+ 中图分类号’ 文献标识码’ 文章编号’ $ [Q(0 $ +*.0J(,))*++.%+J+*’-J+. ! ! ! ! ! ! 性能模拟 本文利用 对片上集成电感 2 %!J!=?$\ *+ . 进行了模拟 并分析了电感的金属宽度 金属间 ! 引言 $ ’ ! 隔 线圈外直径 线圈匝数等设计参数对电感的品质 ’ ’ 以硅为材料的集成电路在射频电路领域有着广 因数’电感值’电阻值等参数的频率特性的影响$在 $ $

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