ZQJ-230D氦质谱真空检漏仪使用说明书.pdf

ZQJ-230D 氦质谱检漏仪 企业通过 ISO 9001 质量管理体系认证 ZQJ-230D 型 氦质谱检漏仪 使用说明书 KYKY ZQJ-230D 氦质谱检漏仪 目录 第一部分 仪器介绍 1.1外观尺寸1-1 1.2仪器结构1-1 1.2.1 质谱室1-3 离子源1-3 磁分析器1-4 接收极与前置放大器1-4 全离子检测极1-4 1.2.2 真空系统1-5 机械泵1-5 涡轮分子泵1-6 组合阀1-7 真空测量1-8 1.2.3 电气系统1-8 电子机柜1-8 操作台板1-10 电磁阀电源箱1-12 1.3 仪器主要性能参数1-13 1.4 仪器使用环境条件1-13 1.5 仪器成套性1-14 第二部分 使用方法2-1 2.1 开箱2-1 2.2 操作前准备2-1 2.3 安装2-2 2.4 操作2-2 2.4.1 首次开机2-2 2.4.2 氦峰调试与漏率校准2-3 2.4.3 喷吹法检漏2-6 正常检漏操作（≤10Pa）2-6 高压检漏操作（10～20Pa）2-7 延长预抽时间2-7 超高压检漏（20Pa）2-8 2.4.4 吸枪检漏2-8 2.5 停机2-9 2.5.1 维持备用2-9 2.5.2 完全停机2-10 第三部分 维 护3-1 3.1 漏率校准3-1 3.2 真空维护与清洗3-1 目录 III KYKY ZQJ-230D 氦质谱检漏仪 3.2.1 机械泵油面观测3-1 3.2.2 更换机械泵油3-1 3.2.3 分子泵加注润滑油3-2 3.2.4 清洗分子泵3-2 3.2.5 清洗质谱室3-2 3.2.6 更换离子源3-11 3.2.7 清洗组合阀3-12 3.3 电子部件调整3-13 3.3.1 发射调节3-13 3.3.2 离子源电压校正3-13 3.3.3 热偶规管调整3-14 3.3.4 过压保护调节3-14 3.3.5 分子泵启动设置3-15 3.3.6 漏率显示放大器调整3-15 3.3.7 检查前置放大器供电3-15 3.4 检验氦本底3-16 3.5 仪器泄漏自检3-16 第四部分 常见故障及处理4-1 4.1 正常运转与故障判断4-1 4.2 故障检查与排除4-3 附录A ZQJ-230D 氦质谱检漏仪的工作原理A-1 A.1 质谱原理A-1