半导体激光器集成非球面微透镜光束整形的研究.pdfVIP

摘要 摘要 垂直腔面发射半导体激光器由于其加工容易、效率高、二维阵列易于集成， 出射光的波长的均匀性和迁移率小，出射光是圆形光束，容易进行光束整形和集 成等特点，近年来在集成电路、光纤耦合、激光泵浦、微流控芯片等领域引起了 广泛的关注。然而由于垂直腔面发射半导体激光器的腔长短，所以其出射光的发 散角比较大，需要微光学元件对其进行光束整形，减少其发散角；而传统的加工 技术对于三维的微光学元件尤其是非球面形貌不能实现，因此飞秒激光直写技术 的出现解决了微光学元件的加工制作上的困难。 飞秒激光具有“细、强、快”三大特点：细指可以进行突破衍射极限的超