基于智能的大功率准分子激光器配气与能量的调控-控制理论与应用.PDF

第 19卷第4期 控制理论与应用 vo1．19No．4 2002年 8月 C0 m {0L THE0RY AND APP1卫．CAT C【 is Aug．2002 文章编号：1000—8152(2002)04—06—0561 基于智能的大功率准分子激光器配气与能量 的调控 樊友平 ，黄席樾 ，余吟山 (1．重庆大学 自动化学院．重庆 400044；2．中国科学院 安徽光学精密机械研究所，合肥 230031) 摘要 ：激光器配气和能量调控系统为滞后时间变化 的非线性系统 ，很难建立准确的数学模型和确定最优解 ．根 据操作人员对激光器的实际手动控制数据 ，提 出了辨识模糊控制规则 ，给 出了基于知识 ／推理规则 的智能控制方 案 ，即在获取的知识库引导下 ，实现快速响应和较高的控制精度 ．该装置具有使用方便 ，控制灵活 ，误差小等特点 ， 经过实际使用验证 ，工作稳定可靠 ，具有较好的实用价值 、 关键词 ：准分子激光器 ；智能控制 ；变控制量论域；非线性 中图分类号 ：TN248：2“；TP18 文献标识码 ：A Adjusting-controllingongassingandenergy forhigh powerexcim erlaserbas ed on intelligence FAN You·ping ，HUANG Xi·yue ，Ⅶ Yni—shan2 (1．AutomationCoHege，ChongqingUniversity，Chongqing400044．China； 2．AnhuiInstituteoforIticsandFineMechanics，AcademiaSinica．Hefei230031．China) Abstract：Thesystem ，whichadoptsgasandenergyascontrollinglneasure，isanonlinearandvariabledelaytimesystem ． Toconfirm suchasystem ’saccurate mathematicalmodelnadoptimum answerisverydifficult．A new method ispresentedto form asetoffuzzycontrolrulesbymeansofhmnanoperaotr’Scontrolactionsnadproposesna intelligencecontrolmethodbased onhteknowledge／reasoningregulation、Itisguiddewihthteknowledgebase，torealizefastreactionnadhighprecision．This devicehashtefeaturesofeasy tOoperate，flexiblecontrolnadsmallerror．Measurementsshow thathtedeviceisstablenad practicable、 Keywords：excimerlaser；intelligentconrtol；variableconrtoltmiverse；non-linera 1 引言 (Introduction) 针 、放 电电路等部件组成 的．脉 冲 电泵浦 XeC1准分 准分子激光器作为紫外波段的强相干光源 ，其 子激光器放 电激励 电路原 理结构示意 图如 图 1所 应用领域是很诱人的．研制出实用、操作简便的大功 示 ． 是闸流管放 电开关系统 ，Csl与 Cs2为储能电 率准分子激光器就越来越受到人们的重视 ．传统的