奈米世界的全方位性工具.PDF

奈米世界的全方位性工具 果尚志 國立清華大學物理系 e-mail: gwo@phys.nthu.edu.tw -9 最近 ，奈米尺度 （nanometer，1 nm=10m）科 學及技術之發展已成為世界各科技高度發展國家全 力以赴的目標 ，我國在近年內亦在國科會及教育部 之支持下有多項相關研究計畫正在進行中 。其中 ， 奈米材料和奈米人造結構之研究 ，由於在高科技應 用上有廣闊的應用前景 ，更是奈米科技的重點發展 項目之一 。因為奈米材料及奈米結構的表面部份佔 了整體極大的比例 ，其表面特性是決定奈米材料及 結構的特殊物理 、化學 、機械和電子性質之重要因 素 ，所以表面顯微技術在奈米科技發展中佔有極重 要的地位 。此外 ，目前奈米科技的迫切需要是發展 能在此尺度下操縱原分子或奈米粒子和進行材料之 奈米加工(例如蝕刻和誘導沈積等)和局部化學修飾 圖 1. 掃 描 探 針 顯 微 術 (Scanning Probe Microscopy)之示意圖 。(詳見文獻 2) 的方法 。掃描探針顯微儀正是符合這些需求的全方 位性工具 。 效應 ，當一個金屬探針被帶到導電樣品表面 1-nm左 表面科學在最近 20 年內的重大進展是於 1980 右的距離範圍內 ，電子可由樣品或針尖 （端視加在 年代早期由 IBM 公司在瑞士 Zurich的實驗室所發展 針尖及樣品兩極間的電壓 V 之相對極性 ）穿過真空 出 的 掃 描 穿 隧 顯 微 儀 (Scanning Tunneling位障抵達相對之電極 。由於穿隧的機率和兩極間的 Microscope，STM)[1 、2 ，請見圖 1] 。其發明人 G. 間距成指數反比的敏感關係 ，所以藉偵測穿隧電流 Binnig與 H. Rohrer兩位並與掃描電子顯微儀 的大小並以回饋系統控制兩極的間距 ，可以維持兩 ( (Scanning Electron Microscope，SEM)的發明人 極的距離固定在 0.1 Å (1 Å =0.1 nm)的精度內 。因 E. Ruska共同獲得 1986 的諾貝爾獎 。掃描穿隧顯 此 ，藉著掃描金屬探針在可導電樣品(例如金屬 、半 微儀的主要物理原理是利用量子力學中的電子穿隧 導體等) 的表面 ，我們可以獲知樣品之表面形貌 。 ■ 633 ■ 物理雙月刊 （廿三卷六期）2001 年 12 月 更由於穿隧電流主要發生在針尖上最突出的一顆原 der Waals force )的原子力顯微鏡(Atomic Force 子上 ，STM 可具有原子級的橫向解析力 。STM 早期發 Microscopy，AFM)[5] 。此後 ，以 AFM 為基礎發展出 展的最驚人功能即是證實人類可以獲得實空間 來的技術日新月異 ，可量測的表面特性也越加廣 （real space）的原子影像 ，其中最具代表性的工 泛 。STM 與 AFM 發展至今 ，已儼然形成一個龐大的 作是 Binning及 Rohrer等人在早期以 STM 方法獲得 掃描探針顯微儀 ，SPM) 矽(111)面上 7×7 重構的原子像 ，第一次讓人們看到 家族 ，其中更以 這個著名重構表面的真實面目 ，從此奠定了 STM 在 應用最廣 ，有別於 STM 主要測量穿隧電流 ，SFM 測 決定固體表面原子結構上的重要地位 。隨著 STM 技 量探針與表面間的作用力 ，可測量原子力 、靜電力 術的發展 ，很快的科學家們發現 ，STM 除了可用來 及磁力等短 、長程作用力 ，並可在大氣 、真空 、常 提供表面原子的排列訊息外 ，也能被用來觀察動態 溫