感应耦合等离子体刻蚀在聚合物光波导制作中的应用-中国光学.PDFVIP

第缘卷摇 第员期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援缘摇 晕燥援员 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员圆年圆月摇 悦澡蚤灶藻泽藻韵责贼蚤糟泽摇 摇 云藻遭援圆园员圆 文章编号摇 员远苑源鄄圆怨员缘渊圆园员圆冤园员鄄园园远源鄄园苑 感应耦合等离子体刻蚀在聚合物 光波导制作中的应用 鄢 张摇 琨袁岳远斌袁李摇 彤袁孙小强 袁张大明 渊吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点联合实验室袁吉林长春员猿园园员圆冤 摘要院提出了利用感应耦合等离子体渊陨悦孕冤刻蚀技术提高聚合物光波导器件性能的方法袁介绍了陨悦孕刻蚀技术的原理和 优点遥 选取聚甲基丙烯酸甲酯鄄甲基丙烯酸环氧丙酯渊孕渊酝酝粤鄄郧酝粤冤冤作为波导材料袁采用氧气作为刻蚀气体袁研究了 陨悦孕参数变化对刻蚀效果的影响遥 介绍了倒脊形光波导的制备过程袁采用改变单一工艺参数的方法袁分析了刻蚀效果随 时间尧功率尧压强尧气体流量等参数的变化袁对参数优化后刻蚀得到的凹槽和平板结构进行了表征遥 实验结果表明院在天 线射频功率为猿园园宰袁偏置射频功率为猿园宰袁气体压强为园郾缘孕葬袁氧气流速为缘园糟皂猿辕皂蚤灶 的条件下袁可获得侧壁陡直尧底 面平整的孕渊酝酝粤鄄郧酝粤冤凹槽结构遥 关摇 键摇 词院聚合物光波导曰倒脊形光波导曰感应耦合等离子体渊陨悦孕冤刻蚀 中图分类号院栽晕圆缘圆曰栽晕源园缘援怨愿摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 凿燥蚤院员园援猿苑愿愿辕悦韵援圆园员圆园缘园员援园园远源 粤责责造蚤糟葬贼蚤燥灶燥枣陨悦孕藻贼糟澡蚤灶早蚤灶枣葬遭则蚤糟葬贼蚤燥灶燥枣 责燥造赠皂藻则燥责贼蚤糟葬造憎葬增藻早怎蚤凿藻 鄢 在匀粤晕郧运怎灶袁再哉耘再怎葬灶鄄遭蚤灶袁蕴陨栽燥灶早袁杂哉晕载蚤葬燥鄄择蚤葬灶早 袁在匀粤晕郧阅葬鄄皂蚤灶早 渊杂贼葬贼藻运藻赠蕴葬遭燥则葬贼燥则赠燥灶陨灶贼藻早则葬贼藻凿韵责贼燥藻造藻糟贼则燥灶蚤糟泽袁悦燥造造藻早藻燥枣耘造藻糟贼则燥灶蚤糟杂糟蚤藻灶糟藻 葬灶凿耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早袁允蚤造蚤灶哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠袁悦澡葬灶早糟澡怎灶 员猿园园员圆袁悦澡蚤灶葬冤 鄢悦燥则则藻泽责燥灶凿蚤灶早葬怎贼澡燥则袁耘鄄皂葬蚤造院泽怎灶曾择岳躁造怎援藻凿怎援糟灶 粤遭泽贼则葬糟贼院粤皂藻贼澡燥凿贼燥蚤皂责则燥增藻贼澡藻责藻则枣燥则皂葬灶糟藻燥枣责燥造赠皂藻则憎葬增藻早怎蚤凿藻凿藻增蚤糟藻泽遭赠陨灶凿怎糟贼蚤增藻造赠悦燥怎责造藻凿孕造葬泽皂葬 渊陨悦孕冤藻贼糟澡蚤灶早蚤泽责则燥责燥泽藻凿葬灶凿贼澡藻责则蚤灶糟蚤责造藻葬灶凿葬凿增葬灶贼葬早藻泽燥枣陨悦孕藻贼糟澡蚤灶早贼藻糟澡灶燥造燥早赠葬则藻蚤灶贼则燥凿怎糟藻凿援 孕燥造赠皂鄄 藻贼澡赠造酝藻贼澡葬糟则赠造葬贼藻鄄早造赠糟蚤凿赠造酝藻贼澡葬糟则赠造葬贼藻渊孕渊酝酝粤鄄郧酝粤冤冤 蚤泽糟澡燥泽藻灶葬泽贼澡藻 憎葬增藻早怎蚤凿藻皂葬贼藻则蚤葬造贼燥泽贼怎凿赠贼澡藻 蚤灶枣造怎藻灶糟藻燥枣增葬则蚤燥怎泽陨悦孕责葬则葬皂藻贼藻则泽燥灶贼澡藻藻贼糟澡蚤灶早则藻泽怎造贼泽憎澡藻灶燥曾赠早藻灶蚤泽泽藻造藻糟贼藻凿贼燥遭藻贼澡藻责则燥糟藻泽泽早葬泽援 云蚤则泽贼鄄 造赠袁贼澡藻枣葬遭则蚤糟葬贼蚤燥灶责则燥糟藻泽泽燥枣葬灶蚤灶增藻则贼藻凿则蚤凿早藻憎葬增藻早怎蚤凿藻凿藻增蚤糟藻蚤泽蚤灶贼则燥凿怎糟藻凿蚤灶凿藻贼葬蚤造援 栽澡藻灶贼澡藻增葬则蚤葬贼蚤燥灶泽燥枣 藻贼糟澡蚤灶早则藻泽怎造贼泽憎蚤贼澡贼蚤皂藻袁责燥憎藻则泽袁责则藻泽泽怎则藻泽袁早葬泽枣造燥憎责葬则葬皂藻贼藻则泽葬则藻葬灶葬造赠扎藻凿遭赠糟澡葬灶早蚤灶早葬泽蚤灶早造藻责则燥糟藻泽泽 责葬