光伏资料—扩散工作的补充.ppt

扩散重点 1：员工生产 2：方块电阻测试 3：换源 4: 石英制品清洗 5：工艺卫生 6: 安全 1.员工生产操作（图解）（暂定） 在员工生产的过程中我们工艺员需关注的几个方面： 员工的操作过程中，我们工艺员要监督，发现不规范的立即指出并督促改正。全过程做的无声操作。 关注扩散工序的碎片率，努力做到最低，能给出原因解释。 2.方块电阻测试（图示） 2 方块电阻测试 这里主要强调以下几个方面： 使用干净的乳胶手套等距离取6片（每舟3片）扩散面朝炉口的硅片。 为避免测试误差，边缘处的测试位置应离硅片边缘（1~2）cm，切不可在同一点上反复测量。 每4H校准一次工作电流，遇电流不稳情况，需多次效验。每班上班后由专人对每条线的四探针进行相互校准，判断每条线之间的四探针是否存在差异，如有通知质量对其进行校准。 为了减小测试值与实际值的差异，测试必须在较暗的环境下进行测试。判断方块电阻值是否在规定范围内，若合格，将硅片卸到硅片盒内，扩散面朝上放在硅片盒中。注意轻拿轻放，避免摩擦，整个过程佩带乳胶手套和口罩，经常更换，保持洁净。严禁戴着汗布手套、不戴或戴脏手套接触硅片正反表面。 3：换源 3.6用扳手松开源瓶进出气口的蓝色聚四氟螺母，拉出白色PFA气管。 3.7 拿出空的源瓶，换上新源瓶，放在恒温箱内。 3.8 确认PFA气管内的玻璃衬套完好（否则更换新的），重新与源瓶接好，并用扳手旋紧蓝色聚四氟螺母。 3.9 注意：用扳手旋紧的力大小要适中，太大会损坏玻璃衬套；源瓶进出气接口的方向不能接反。 3.10 依次旋开源瓶出气、进气口的手动阀。准备做鼓泡试验 3.11 打开CMI触摸屏上相应管号的用户界面，选择“Manual/Gas/N2-POCl3/Exh/Tube/To Tube”手动操作命令，打开通向石英管的气动阀 3.16 选择“Manual/Gas/N2-POCl3/Volume” 手动操作命令设定流量值为100sccm。观察源瓶鼓泡情况，若30Sec内鼓泡正常，可进行下一步，若不正常，检查气路部分 。 3.12 在CMI用户界面上，点击“Standby”按钮，取消测试。 3.13 温度传感器小心放出源瓶中，并确定放到底部。 3.14 小心的把蓝色恒温箱的前半部分与后半部分对齐，放好，并整理气管，用保温棉堵塞气管缝隙。 3.15 再次按下气源柜上“RUN”按钮，使其处于运行状态；换源结束 我们应该注意的几点： 不使用的石英舟必须存放在净化柜内，待下次使用前取出按要求清洗，并按要求做饱和。 POCL3源瓶放在源瓶房的抽风橱内保存。 更换源瓶时戴好防毒面具、防酸服及乳胶手套 4、石英制品的清洗 4.1 换液前将纯水槽和HF槽的排水阀打开，并用水枪将两槽中杂物给冲洗干净，结束后关上两排水阀门。 4.2 配液和清洗时要穿戴好防毒面具、长袖乳胶手套，并预先在HF槽中放一定量去离子水（5~15）cm高（目视），随后，注入32升HF，至少8升的HCL于槽中至液位（10~18）cm高（目视），HF和HCL的瓶装浓度是40%。 4.3 等桨完全冷却后， 戴好乳胶手套，将石英制品及桨先按设备要求拆除下来，随后按物品体积从大到小有顺序地放入HF槽中清洗。 4.4 石英管放入HF槽时要注意，管口先下，使其先有HF进入管中，再慢慢放入至整个石英管，在清洗完后拿起时，则操作相反。 4.5 HF浸泡时间1h，对石英管壁比较脏的，在纯水中时要海绵擦洗。在纯水中冲洗时间为（1~2）h，而且在纯水中时要保持水的流动性。 4.6 在清洗过程中，如果需要开动转轴的，必须要时刻确保石英制品或桨在槽中不致受到损伤。 4.7 整个清洗过程中，石英管清洗槽应处于密封状态，通风口应处于“ON”状态，避免气态HF外泄。 4.8 吹干石英制品及浆必须用N2，在竖起吹浆时，应放在固定支架上，地上必须有棉布铺垫防止滑倒。洗净、吹干后的石英制品装上之前保存在洁净柜中。洁净柜处于“ON”状态。 扩散间作业人员操作注意点 石英清洗间与外界相通的大门平时应该关闭，严禁打开，但不锁死，紧急情况时作为安全通道。此项由生产主管以及工艺人员进行监督，违反者将给予一定处罚。 从安全角度考虑，在进行石英管清洗时，有机玻璃窗必须关严，防止HF气体外泄对清洗人员造成一定伤害，不遵守者后果自负。 所有进入扩散间的化学品需清理干净，使用完毕后同样清理干净后带出石英制品清洗管间，用来盛放废弃物的垃圾箱一律使用标准塑料垃圾桶，不允许使用纸箱。用于清洁石英制品的化学品要用保鲜膜把它包起来，然后拿进扩散间，通过专用的运输小车运输。 每次洗管周期结束后必须对清洗机进行清理，包括槽的内壁和底部，有机玻璃窗，机器内壁等,清洗完毕后将有机玻璃窗子关闭