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D07系列流量控制器-15版
VER.20 15.8
制造标 准 细分专 攻 Benchmark Creation Multi-Seg ment Sp ecialization
型 号 D07-7B D07-7C D07-7BM D07-7CM Model
(0 ～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM （ )
流量规格(N ) Full Scale Range N2
2
(0 ～1,2,3,5,10,) SLM
准确度 ± 1.5% F.S. Accuracy
线 性 ± 1% F.S. Linearity
重复精度 ±0.2% F.S. Repeatability
响应时间 ≤10sec Response Time
阀类型 常闭 Normally Closed 无 No Valve Valve Configuration
工作压差范围 ～ Differential Pressure
(0.1 0.5)MPa ＜
0.01 MPa
耐 压 3MPa Max Pressure
漏 率 1×10-8atm•cc/sec He Leak Integrity
密封材料 氟橡胶Viton; 氯丁橡胶Neoprene
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