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浅谈MEMS传感器及其封装技术 苏州捷研芯纳米科技有限公司 MEMS传感器及IC微模块封装解决方案 MEMS传感器市场规模 苏州捷研芯纳米科技有限公司 MEMS传感器及IC微模块封装解决方案 MEMS传感器应用领域 苏州捷研芯纳米科技有限公司 MEMS传感器及IC微模块封装解决方案 MEMS定义 Ø 国际上对微机电系统的定义与称谓 （1）MEMS(Micro Elector Mechanical System) 美国 是由电子和机械组成的集成化器件或系统。 （2 ）Micro System 欧洲 微系统由多个微元件组成，并作为一个完整的系统进行优化，以提供一种或多种特定功能。 （3 ）Micro Machine 日本 微机械是由只有几毫米大小的功能元件组成的。 苏州捷研芯纳米科技有限公司 MEMS传感器及IC微模块封装解决方案 Ø MEMS微机电系统特点 • MEMS的全称是微型电子机械系统 （Micro-ElectroMechanical System），微机电系统是指可批量 制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电 源等于一体的微型器件或系统。 • 可以理解为利用传统的半导体工艺和材料，用微米技术在芯片上制造微型机械，并将其与对应电 路集成为一个整体的技术。它是以半导体制造技术为基础发展起来的一种先进的制造技术平台。 • 优点：相对于传统的机械，它们的尺寸更小，最大的不超过一个厘米，甚至仅仅为几个微米，其 厚度就更加微小。采用以硅为主的材料，电气性能优良，硅材料的强度、硬度和杨氏模量与铁相 当，密度与铝类似，热传导率接近钼和钨。 • 采用与集成电路 （IC）类似的生成技术，可大量利用IC生产中的成熟技术、工艺，进行大批量、 低成本生产，使性价比相对于传统 “机械”制造技术大幅度提高。 苏州捷研芯纳米科技有限公司 MEMS传感器及IC微模块封装解决方案 • 从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型执行器、计算机控制以及能源供给的系统。 • MEMS技术是一种多学科交叉的前沿性领域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子、 机械、光学、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。 外界信息传入 功能作用与外界 苏州捷研芯纳米科技有限公司 MEMS传感器及IC微模块封装解决方案 Ø 微机电系统特征尺寸 微机电系统不能完全用总尺寸来定义，而应用特征尺寸来表征。特征尺寸是决定微机电系统器件性质 和加工工艺的关键尺寸，如扩散硅压力传感器的膜厚。特征尺寸在亚毫米以上的机械电子系统基本上 属于传统机电一体化设备；而特征尺寸在亚微米以下的机械电子系统属于纳机电系统。 MEMS微结构 苏州捷研芯纳米科技有限公司 MEMS传感器及IC微模块封装解决方案 MEMS封装特点 红外光传感器 气体传感器 光电传感器 苏州捷研芯纳米科技有限公司 MEMS传感器及IC微模块封装解决方案 Ø MEMS封装应满足以下要求： （1）对微传感器芯片封装应提供一个或多个环境通路。 （2 ）对那些对应力特别敏感的微传感器，封装带来的应力应尽可能的小。 （3 ）封装与封装材料不应对环境造成不良影响。 （4 ）封装应保持微传感器及其电子器件免遭环境不利影响。 （5 ）封装