动态真空镀铬临界速度确定-光学精密工程.pdfVIP

第5卷　第1期 光学　精密工程 . 5, . 1 V o l N o 1997年2月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G F eb ru ary , 1997 动态真空镀铬临界速度确定 付永启 ( 中国科学院长春光学精密机械研究所, 长春 130022) 　　摘要　给出了动态真空镀铬保证安全成膜时被镀件不应超过的临界转速 n 临, 为 动态 目标盘动态旋转条件下的可靠镀铬提供了理论依据。 关键词: 动态真空镀铬; 动态 目标盘; 临界转速 1　引　　言 　　 目前常用的镀膜方法有电镀、真空蒸镀、溅射镀、离子镀等, 动态 目标盘柱面镀铬采用真空 蒸镀法, 因为它有如下优点: 　　1) 防止膜料沾污, 获得纯净、致密、符 合预定要求的薄膜。