纳米灾韵曾薄膜在空气中的电学特性退化研究.PDFVIP

物理学报摇 粤糟贼葬孕澡赠泽援杂蚤灶援摇 灾燥造援远园袁晕燥援远 渊圆园员员冤摇 园远苑猿园圆 纳米灾韵 薄膜在空气中的电学特性退化研究 曾 覮 覭 罗振飞 摇 吴志明 摇 许向东摇 王摇 涛摇 蒋亚东 渊电子科技大学光电信息学院袁电子薄膜与集成器件国家重点实验室袁成都摇 远员园园缘源冤 渊圆园员园年猿月员愿 日收到曰圆园员园年怨月远 日收到修改稿冤 摇 摇 采用射频磁控溅射法在氮化硅衬底上沉积纳米灾韵 薄膜袁利用载射线衍射尧原子力显微镜分别对薄膜的结晶曾 形态及表面形貌进行表征援研究了纳米灾韵 薄膜在空气中长时间暴露后的方块电阻尧热滞回线等电学特性的变化 曾 情况袁并分析这些变化给器件带来的影响援利用载射线光电子能谱仪尧傅里叶变换红外光谱仪分析对比新制与久置 薄膜的组分及分子结构差异援研究表明袁暴露在空气中的纳米灾韵曾 薄膜方块电阻增大是因为低价钒离子被吸附氧 原子氧化成缘价钒的缘故袁热滞回线形状发生变化的原因是由于薄膜原子与吸附原子尧官能团成键后影响了纳米 灾韵 薄膜的分子结构援 曾 关键词院纳米灾韵 薄膜袁磁控溅射袁电学特性袁退化曾 孕粤悦杂院苑猿郾远员郾允糟袁苑猿郾缘园郾原澡袁远愿郾猿缘郾阅增袁远愿郾猿缘郾遭早 料咱苑暂援在红外探测器的应用中袁以纳米灾韵 薄膜作曾 员郾 引 言 为热敏层的微测辐射热计具有良好的性能咱愿暂援 因 此袁纳米灾韵曾 薄膜在光学和光电子学领域具有很高 钒氧化物体系很复杂袁存在 灾韵袁灾 韵 袁灾韵 袁 圆 猿 圆 的应用价值援在以前的研究中袁虽然有关于 灾韵曾 薄 灾 韵 袁灾韵 渊猿臆灶臆怨冤和灾 韵 渊猿臆灶臆远冤等十 膜材料暴露空气后组分或光学性质发生改变的报 圆 缘 灶 圆灶原员 灶 圆灶垣员 几种物相袁而且氧含量的微小差别会给灾韵曾 材料在 道咱怨袁员园暂 袁但在这方面纳米灾韵 薄膜组分变化与相应曾 物理性质上带来很大的差异援例如袁在常温下袁灾韵 电学特性改变之间的联系仍然缺乏研究援本文采用 和灾 韵 为金属相袁灾韵 和灾 韵 为半导体相援 射频磁控溅射及后续退火的方法制备纳米 灾韵 薄 圆 猿 圆 圆 缘 曾 咱员暂 咱圆袁猿暂 咱源暂 膜援研究薄膜在空气中长时间暴露后组分尧电阻尧热 在光开关 尧红外探测器 尧温度传感器 尧 强激光保护等技术应用中袁为了满足良好的器件性 滞回线等随时间的变化情况袁并阐述薄膜分子结构 能要求袁一般要对 灾韵曾 薄膜组分进行严格的控制袁 改变对电学特性产生影响的机理援 这给材料的制备带来了很大的技术困难援然而袁即 圆郾 实摇 验 使灾韵 薄膜的组分得到了有效的控制袁由于灾 韵 曾 圆 缘 在钒氧化物体系中是组分最稳定的袁价态低于缘 价 的钒离子很容易被外界环境中的氧原子氧化袁改变 圆郾员郾 样品制备 薄膜组分袁这就会影响灾韵曾 薄膜的物理特性及器件 在沈阳超高真空应用技术研究所生产的 悦运鄄猿 性能援因此袁研究外界环境对 灾韵曾 薄膜物理特性的